半导体车间无尘室工程设计施工

ISO/DIS 14644-1 洁净室和洁净区按空气中悬浮粒子浓度的分级ISO分级 

大于等于表中所列粒径悬浮粒子

**允许浓度（颗/m3）

        0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm

ISO1级 10 2

ISO2级 100 24 10 4

ISO3级 1000 237 102 35 8

ISO4级 10000 2370 1020 352 83

ISO5级 100000 23700 10200 3520 832 29

ISO6级 1000000 237000 102000 35200 8320 293

ISO7级       352000 83200 2930

ISO8级       3520000 832000 29300

ISO9级       35200000 8320000 293000 净化实验室施工-请咨询统钜净化上海成立近十五年技术18年行业经验，合同信用AAA级企业，通过ISO9001认证。半导体车间无尘室工程设计施工

在单向流洁净室内，干净气流不是一股或几股，而是充满全室断面，所以这种洁净室不是靠洁净气流对室内脏空气的掺混稀释作用，而是靠洁净气流推出作用将室内脏空气沿整个断面排至室外，达到净化室内空气的目的。所以，前联邦德国有人称单向流洁净室的气流为“活塞流”、“平推流”前苏联称之为“被挤压的弱空气射流”。干净空气就好比一个空气活塞，沿着房间这个“气缸”，向前（下）推进，而使尘粒只能前（下）进，没有返回，把原有的含尘浓度高的空气挤压出房间。浙江医疗器械超净室洁净车间施工-请咨询统钜净化上海成立近十五年技术18年行业经验，合同信用AAA级企业，通过ISO9001认证。

洁净室温湿度控制精度高，和普通舒适性空调的满足人员舒适的要求不同，洁净室的温湿度控制的精度是为了满足工艺要求，如在某些电子产品的制造中，对温湿度的控制要求非常严格。为了实现恒温恒湿，那么要求空气处理机组中至少要具备制冷、制热、加湿、除湿等功能段，而且需要精密控制的方式；如换热器要采用高效率的亲水翅片，并且水流量采用比例积分控制，加湿量也要采用比例积分或者是PID调节的方式，以便实现更高的控制精度。

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按气流的流动状态分根据气流的流动状态分，主要有以下三种气流分布的洁净室 [1]  ：（1） 非单向流洁净室：以前常称为乱流型洁净室，室内的气流并不都按单一方向流动。非单向流洁净室有几个共同的特点：终端过滤器（高效或亚高效）尽量接近洁净室，它可以就是送风口或直接连送风口，也可以接到房间的送风静压箱上；回风口均设在洁净室的下部，目的是避免出现“扬灰”现象。非单向流洁净室中都有涡流存在，不适宜用于高洁净度的洁净室中，宜用于6~9级的洁净室中。（2） 单向流洁净室：单向流洁净室气流的特征是流线平行，以单一方向流动，并且在断截面上风速一致，有垂直单向洁净室，准垂直单向流，水平单向流洁净室等。（3） 矢量洁净室：在房间的侧上角送风，采用扇形高效过滤器，也可以用普通高效过滤器配扇形送风口，在另一侧的下部设回风口，房间的高长比一般在0.5~1之间为宜。这种洁净室也可以达到5级（100级）洁净度。电子厂洁净室施工-请咨询统钜净化，成立近十五年技术18年行业经验，合同信用AAA级企业，通过ISO9001认证。

洁净室的施工完成后，对洁净室的运行和管理也是非常重要的，要定期检查室内和设备，设备主要是监测，而室内项目除常规的室内顶棚送风天花（或高效送风口）和墙面回风口目测清洁度等必须监测的项目外，更重要的还应包括尘埃粒子数、细菌菌落数、送风风量、室内正（负）压等。日常管理必须保证洁净室正确运行，这样所制造的产品才不至于受到污染。这就要求从人员与材料的入场，到服装的选择、洁净室的规定、洁净室的清洁都必须正确地予以实施。必要时还应对维护人员进行培训。净化室承建方-请咨询统钜净化上海-成立近十五年，技术18年行业经验，合同信用AAA级企业，通过ISO9001认证。湖北十万级净化车间

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