机床误差修正激光干涉仪设计

激光干涉仪以光波为载体，具有测量精度高、测量速度快、测量范围大、Zgao测速下分辨率高等特点，其光波波长可直接对米进行定义并溯源至国家标准。因此，激光干涉仪普遍应用于数控机床、PCB钻孔机、坐标测量机、位移传感器等精密仪器的质量控制与校准以及科研开发、设备制造等领域。激光干涉仪是以激光波长为长度计量基准的高精度测量仪器，随着双频激光干涉仪的出现，因其具有性能稳定、检测精度高及数据可靠性好等优点，已成为高精密机械生产中校准及补偿的标准仪器，在机械制造、金属切削加工及航空航天等领域得到了普遍的应用。影响激光干涉仪测量精度的因素包括：测量读数软件系统带来的误差。机床误差修正激光干涉仪设计

激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜。数控轴几何参量激光干涉仪定购激光干涉仪配有各种附件，可测量小角度、平面度、直线度、平 行度、垂直度等形位误差。

激光干涉仪引力波探测器要求激光束的横向剖面具有纯净的TEM00模式,即应该是基模厄米-高斯模式。因为高阶模式与干涉仪的不对称性相耦合,会使输出信号的对比度变差,而且高阶模式会使法布里-珀罗腔镜子表面光强分布改变,产生附加的热噪声。高阶模式的振幅是不稳定的,它会使镜子不同部位受到的辐射压力发生变化,产生附加的辐射压力噪声,严重时会使镜子抖动引起干涉仪锁定状态的不稳定。通过清模器可以清理高阶横向模式,清模器的主体部分是一个具有较高透射率的行波谐振腔,常采用由三面光学镜组成的锐三角形结构,其优点是清模效果好,光束抖动噪声小,能选择偏振形式,具有高的频率稳定性,没有光从清模器返回激光器。合理设计三面镜子的反射和透射系数并适当调节锐角上的镜子,使载频激光和两个旁频都能共振通过。

激光干涉仪，以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。“干涉法”是一种利用波(通常是光波、无线电波或声波)干涉现象的测量方法。测量可以包括波本身的某些特性以及波与之相互作用的材料。激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、较高测速下分辨率高等优点,结合不同的光学镜组,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度。激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、较高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。激光干涉仪的测量精度与哪些因素有关？

激光干涉仪是以激光波长为长度计量基准的高精度测量仪器，随着双频激光干涉仪的出现，因其具有性能稳定、检测精度高及数据可靠性好等优点，已成为高精密机械生产中校准及补偿的标准仪器，在机械制造、金属切削加工及航空航天等领域得到了普遍的应用。激光干涉仪有单频和双频之分，单频激光干涉仪受环境因素影响较大，一般用于特定环境的实验室。双频激光干涉仪应用频率变化来测量位移，对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，抗干扰能力强，普遍应用于各种工况下。激光干涉仪要设置专库存放，环境要求干燥、通风、防震、防雾、防尘、防锈。数控轴几何参量激光干涉仪定购

激光干涉仪为数控机床的误差修正提供可靠依据，现场使用尤为方便。机床误差修正激光干涉仪设计

激光干涉仪的使用方法：透镜面形检测：调节沉座到被检透镜的适合尺寸，（建议大批量固定透镜的检测，自己加工固定的沉座）放上透镜调节高度和透镜调节钮使透镜的星点与标准镜头的星点重合，观测显示器是否出现干涉条纹，条纹越少精度越高。此外，干涉图像与对准系统同步，无需切换，任何人都能简单操作。高度调节结构选择加长的测试轨道来配合测量尺寸，可简便的测量出曲率半径。透镜曲率半径检测：开启标尺电源开关（清零），调整图像到看清直线干涉条纹(3条到5条），凸透镜向上调节高度（凹透镜向下调节高度）到第2个星点出现的时候调节标准镜头调节旋钮，使图像出现猫眼像，标尺移动的数值就为被测透镜的曲率半径。机床误差修正激光干涉仪设计

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