半导体真空泵专业生产

水喷射真空泵工作原理，高压水泵产生的具有一定压力的水通过喷嘴在吸入室内高速喷出，将水的压力能转变成动能，吸入室内的气体被高速射流挟带，是吸入室内的压力降低，被抽气体从吸入室的吸入口进入，从而实现抽真空的功能。水喷射真空泵的动设备为一台高压水泵，关键部件为喷嘴，所以此泵结构简单，维修频率低。在泵腔内，有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。半导体真空泵专业生产

水环真空泵，开泵前要进行手动盘车； 进水温度不能太高，比较好不要超过30℃；工作水硬度尽可能小，否则泵内容易结垢；水环真空泵的排气管路不能安装阀门，以免误操作让泵出口带压运行；水环真空泵出口排水管路尽可能低（距泵中心高度不超过一米），防止工作水不能顺畅排放，影响泵的性能；水环泵使用真空要避开气蚀条件，否则会影响泵的寿命；水环真空泵的供水管路要加装手动阀，调节泵的供水大小；停泵前先关供水阀，让泵内过多的工作水排出；泵的入口加装单向阀或其它类似阀门，防止停泵时工作水倒灌入系统中；在结冰的环境中使用时，停泵后将泵内工作水排放彻底，以防结冰冻裂真空泵。久信油泵现价水环真空泵出口排水管路尽可能低，防止工作水不能顺畅排放，影响泵的性能。

日常维护：1、每日检查泵的润滑油颜色、油位，若润滑油变脏、乳化、变稀要及时排查原因，更换新油。2、每日检查后轴承压盖温度，若温度突然升高要及时停车检查。3、时刻注意电机电流，若电流突然升高，要及时停机进行排查。4、每日检查冷却水，出水温度是否过高，高于55℃是要注意检查分析原因冷却水供应是否充足。5、真空泵在初次运行一个月后，无论润滑油是否异常，都要进行更换。6、被抽气体中含有可凝性气体，出口分离器内会有冷凝液积存，注意及时放，以免停机时倒吸进入泵腔内。7、每次停机时要注意观察螺杆真空泵是否快速返向转动超过2秒钟，如果是，请检查单向阀是否出现故障。

目前，国内气冷式直排大气罗茨泵进展很快，技术上已经成熟。由于这种泵在排气口的下面装有气体冷却器，其中一部分被冷却的气体通过管道返回泵腔以冷却转子，从而使压缩热得平衡，所以这种泵可以直排大气。为了满足不同极限真空度的要求，这种泵可以串联使用，一般前面加一台气冷式直排大气罗茨泵，所达到的极限真空要比前级泵高一个数量级。这种泵由于在泵腔内没有工作介质，实际上也是属于干泵。目前，这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡。在电动机的驱动下，通过曲柄连杆机构的作用，使气缸内的活塞做往复运动。

真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg，比较好能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg（绝压），在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化（详细变化情况参照泵的性能曲线），其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。真空泵的种类目前已发展了很多种。半导体真空泵专业生产

变容真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。半导体真空泵专业生产

喷射真空泵是利用液体或者气体的高速射流携带被抽气体，使被抽容器内获得一定真空度的一种低真空泵。按工作介质可分为水喷射泵、大气喷射泵和水蒸汽喷射泵。喷射泵特点：结构简单、工作稳定可靠；可抽除含有水蒸汽、粉尘的气体、易燃易爆气体和腐蚀性气体；抽气量大，应用普遍：冶金、化工、食品制造等领域；缺点：抽气效率低，能量损失大。水喷射泵是用水作为工作介质，通过高速射流来引射被抽气体，使容器达到一定真空度的粗真空获得设备。单级泵的极限压强为3.3kPa，两级串联可获得好一些的真空度，主要受水饱和蒸汽压的限制。半导体真空泵专业生产