衢州工业级真空泵专业厂家

时间:2021年07月14日 来源:

半导体及电子行业接触的真空一般指的是气压比一标准大气压小的气体空间,是指稀薄的气体状态,又可分为极高真空、高真空、中真空和低真空。真空一般是用特制的抽气机获得,它的气体稀薄程度用真空计测定,现在已能用分子抽气机和扩散抽气机得到1*10-14pa大气压的极高真空。真空技术在芯片制造,太阳能电池片制造,光学膜制造、电真空仪器,电子管和其他电子仪器方面均有普遍应用。普通真空泵,压强可达到1.333~100kPa(10~760mmHg)为“粗”真空; 油泵,压强可达0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)为“次高”真空 ;扩散泵,压强可达0.133Pa以下,(10-3mmHg)为“高”真空。真空泵可以定义为:利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。衢州工业级真空泵专业厂家

锆铝吸气泵的工作条件,压强低于10-3Pa时,抽活性气体的工作温度为400 ℃,体内扩散速率是金属表面维持足够的吸气速率而不能释放氢;10-3~1Pa范围内,抽活性气体工作温度为750 ℃——提高温度加速体内扩散,加速清洗吸气剂表面,对H2要求高抽速,工作温度为400 ℃,对纯氢要求大抽速和大吸气量是,工作温度一般为200~300 ℃,对纯氢要求尽可能大的吸气量而不需要大抽速时,可室温工作,高真空或者超高真空系统中,工作温度一般为400 ℃。组合真空泵供应水环真空泵出口排水管路尽可能低,防止工作水不能顺畅排放,影响泵的性能。

目前,国内气冷式直排大气罗茨泵进展很快,技术上已经成熟。由于这种泵在排气口的下面装有气体冷却器,其中一部分被冷却的气体通过管道返回泵腔以冷却转子,从而使压缩热得平衡,所以这种泵可以直排大气。为了满足不同极限真空度的要求,这种泵可以串联使用,一般前面加一台气冷式直排大气罗茨泵,所达到的极限真空要比前级泵高一个数量级。这种泵由于在泵腔内没有工作介质,实际上也是属于干泵。目前,这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡。

气缸内的气体随站活塞从右向左运动而逐渐被压缩,当气缸内气体的压力达到或稍大于一个大气压时,排气阀4被打开,将气体排到大气中,完成一个工作循环。当活塞再左向右运动时,又重复前一循环,如此反复下去,被抽容器内比较终达到某一稳定的平衡压力。为提高抽气效率,一般在气缸的两端均设有吸气阀和排气阀,然后用管路将气缸两端的吸气口和排气口并联起来。往复真空泵从安装形式来分,有卧式往复真空泵及立式往复真空泵;从油润滑来分,有有油往复真空泵及无油往复真空泵。卧式往复真空泵一般为有油式,立式多为无油式。扩散泵抽速在很宽的压强范围内保持不变,但在压强较高或很低时,抽速下降很快。

当您选择油封泵时,您应该首先了解您的真空系统是否对油污染有要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、挡油阱、挡板等,也能达到清洁真空要求。了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸汽,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。真空泵的安装可以找专业的人士进行。武汉价格真空泵供应

真空泵的种类目前已发展了很多种。衢州工业级真空泵专业厂家

在复合分子泵的设计中,必须处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。喷射真空泵:分水喷射泵、气体喷射泵和蒸汽喷射泵三大类喷射真空泵是利用液体或者气体的高速射流携带被抽气体,使被抽容器内获得一定真空度的一种低真空泵。水喷射泵是用水作为工作介质,通过高速射流来引射被抽气体,使容器达到一定真空度的粗真空获得设备。单级泵的极限压强为3.3kPa,两级串联可获得好一些的真空度,主要受水饱和蒸汽压的限制。可单独使用,也可作为其他真空泵的前级。衢州工业级真空泵专业厂家

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