清远大型真空泵品牌哪家好
锆铝吸气泵采用锆铝合金材料在高温下吸附活性气体;锆铝吸气泵,优点:结构简单、体积小、造价低,操作安全可靠,维修方便,清洁无油,对活性气体,尤其是对氢具有很高的抽气能力。缺点:不能抽惰性气体,锆铝吸气泵对氢、氘、氚吸气是可逆的,其他活性气体则是以稳定的化合物形式扩散到吸气剂内。锆铝吸气泵的饱和与重启,锆铝吸气剂长期在高温下工作,会出现“饱和”,吸气率下降;甚至吸气剂表面形成氧化膜,失去吸气性能,当吸气速率降低到80%时,就需要进行再重启处理:在<1Pa的压强下,加热至750~850 ℃ ,使吸气剂表面的固体氧化膜分解,使金属和气体的产物向更深的体内扩散,生出高度活泼的金属表面,同时除去过量的氢一般的吸气带可以反复重启多次(~20次),直到全部的吸气剂饱和为止—更换锆铝合金吸气带。每日检查泵的润滑油颜色、油位,若润滑油变脏、乳化、变稀要及时排查原因,更换新油。清远大型真空泵品牌哪家好
真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为:利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展,真空泵的种类已发展了很多种,其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。极限压力(极限真空)从粗真空到10-12Pa以上的极高真空范围。按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型,即变容真空泵和动量传输泵。变容真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。舟山注液真空泵商家空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。
真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度,选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg,比较好能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg(绝压),在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线),其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜,而不能让它在25~30mmHg下长期工作。
干式螺杆真空泵由于其优越的性能,在欧美和日本目前已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业选择真空获得设备。传动轴连接主动转子,通过同步齿轮带动从动转子旋转,在壳体上开有冷却水通道,用来冷却转子和排气口温度,同步齿轮及轴承用油润滑,轴承和壳体内部通过密封件来密封以达到无油的效果。干式螺杆真空泵同无油螺杆压缩机在密封和润滑上结构类似,一般真空泵的排气端用机械式密封件,进气侧通常用双唇形密封件。在传动方式上,目前通用的是直连电机,用联轴器与转子连接,极少数用皮带或者传动链传动。水环真空泵出口排水管路尽可能低,防止工作水不能顺畅排放,影响泵的性能。
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩 复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速单为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸汽被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵,以满足不同场合的需要。真空泵在其工作压力下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。迷你真空泵供应
扩散泵抽速在很宽的压强范围内保持不变,但在压强较高或很低时,抽速下降很快。清远大型真空泵品牌哪家好
螺杆真空泵与爪形真空泵的特点对比:不同点:因爪形真空泵为多级串联结构,每级泵均应严格控制端面间隙,即四级泵需严格控制8个端面间隙,泵在运行时的热膨胀及抽除粉未等时容易造成泵的故障,另外爪式泵的多级串联的结构特性决定了其装配的复杂性,一般人员很难达到装配要求;而螺杆真空泵单需严格控制定位端的一个端面间隙,及转子间的先对间隙即可,对装配人员要求相对较低。设备运行更稳定,检修更方便。排气通道复杂,在抽除可凝性气体时(例如:水蒸汽,有机溶剂气体等),在泵腔内压缩时会产生较多的液体,这部分液体进入泵的端面造成泵的负载明显变大,四级爪形真空泵有8个端面,不宜抽除大量可凝性气体。清远大型真空泵品牌哪家好