上海 PA6015-WP-PCC20A加热板经销

时间:2022年12月18日 来源:

    为了保证测控精度,采用红外线温度测控模块作为温度测控模块。图1是本发明实施例的结构原理示意图;图2是未采用本发明技术方案的温度与时间关系示意图;图3为采用本发明技术方案的温度与时间关系示意图。具体实施例方式下面结合附图和实施例对本发明技术方案进一步说明如图1、图2和图3所示,本发明提供一种精确控温的高频加热装置,包括有对物件进行升温的高频机1,监测物件温度并反馈正比电压信号的美国雷泰红外线温度测控模块2和接收电压信号并控制高频机输出功率的信号调理模块3.采用上述精确控温高频加热装置的方法,包括如下步骤第一步,开始高频加热,高频机1满负荷加热升温,美国雷泰红外线温度测控模块2监测物件温度,当物件温度距目标温度80120°C时,改为动态功率加热;第二步,美国雷泰红外线温度测控模块2根据不同温度,反馈与温度成正比的电压值,信号调理模块3根据电压值的大小反比例调节高频机1的功率输出,使其越接近目标温度,输出功率越小;第三步,信号调理模块3动态调节高频机1的功率输出,物件温度保持在目标温度值的士5°C的范围内。本申请人在未采用上述高频加热温度控制装置及方法时,连续生产过程中测试分析数据。使得同心圆圆弧上的位置温场分布较差。上海 PA6015-WP-PCC20A加热板经销

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    陶瓷加热板产品特点有哪些?加热仪器是实验室的常用仪器,实验室的加热设备有多种,如电炉、电热板、加热套、水浴锅等等,但是如此众多的加热设备,其中一定会有你需要的吧?HT系列陶瓷加热板是实验室前处理加热、消解、赶酸应用中不可少的一款仪器,在样品前处理起到了很大的作用,电热板加热台面面积大,不生锈,加温快等优势特点让前处理实验节省工作时间,提高了实验效率。产品特点:1、HT系列陶瓷加热板采用分体设计,让控制器与加热主机分开,可让实验操作者远离实验过程生产的酸雾而不受伤害。2、玻璃陶瓷材质作为加热面,具有清洁性好、耐腐蚀性高、使用寿命长。3、考虑到特殊样品的消解,配置防HF酸保护膜。4、超大加热面积,快速处理样品不省时。5、加热板内部是用铂金电阻精确控温,升温快速、加热均匀,温度可达400℃。6、控制器是大屏幕LCD液晶显示,可以直观看到实验操作数据。7、加热板内部设计具有热警显示,当加热板表面温度过高会有自动报警功能让你的实验更安全。8、机身厚度不超过7cm左右,方便放置。 上海 PA3010-PCC10A加热板一级代理采用电阻加热或感应加热或者电子束等加热法将原料蒸发淀积到基片上的一种常用的成膜方法。

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    推荐的:所述的调节支撑圆柱与研磨盘主体之间、调节支撑圆柱与圆环之间均设置为螺纹连接。推荐的:所述的支撑圆盘本体的材质采用铝合金。推荐的:所述的圆环的材质采用ptfe。推荐的:所述的研磨块的长度与晶圆加热器的修磨面半径相等。本实用新型的有益效果;一种等离子体cvd晶圆加热器用表面修磨装置,与传统结构相比:设置有带锁紧及定位功能的晶圆加热器支撑圆盘、连接晶圆加热器支撑圆盘的旋转装置、带水平调整及测量功能的研磨盘、带水平调节功能的安装支架;研磨块的长度与晶圆加热器的半径相等,研磨均匀;本实用新型结构简单,稳定性好,操作方便,研磨快速高效;**降低了工人的劳动强度,大大减小了一次修磨量,增加了晶圆加热器的可修磨次数,延长了晶圆加热器的工作寿命,节约了成本。附图说明图1为本实用新型结构示意图;图2为本实用新型中加热器支撑圆盘结构示意图;图3为本实用新型中旋转装置结构示意图;图4为本实用新型研磨盘结构示意图;图5为本实用新型安装支架结构示意图;图6为本实用新型晶圆加热器结构示意图;在图中:1.加热器支撑圆盘;1-1.支撑圆盘本体;1-2.圆环;1-3.螺丝;2.旋转装置;2-1.固定座;2-2.旋转电机;2-3.连接圆盘;3.研磨盘。

    让冷水流过得到加热。但是,当使用一个加热桶时,由于加热桶体积大,因此加热注入于桶内的冷水所需的时间较长;而当使用多层加热桶时,则由于加热桶体积变大、结构变得复杂,因此生产成本增加。并且,加热桶内的流量按自然流速流动,速度非常慢,因此,在高温下加热器周围形成油脂或石灰石,从而降低热导率、缩短加热器的寿命、增大耗电率。如中国**cn。本发明提出了一种电磁感应加热单元结构,配合10kv高压电磁感应技术,使得综合效率大幅提高。技术实现要素:发明目的:为了克服现有技术中存在的不足,本发明提供一种电磁感应加热单元结构,解决电磁感应加热过程中电磁场泄漏的问题,保证加热管壁高效运行,无过热风险。技术方案:为实现上述目的,本发明采用的技术方案为:一种电磁感应加热单元结构,包括两端开口的中心加热筒,沿所述中心加热筒切向依次套装有内筒体和外筒体;所述内筒体与外筒体底部位于同一封闭平面,内筒体与外筒体之间形成倒u型辅助加热水套;所述外筒体顶端与中心加热筒顶端位于同一平面;所述中心加热筒与辅助加热水套连接处开有若干通孔;所述内筒体与中心加热筒之间均匀设置有线圈固定装置,沿所述线圈固定装置外侧螺旋绕装有线圈。电热恒温加热板由箱壳、微晶玻璃加热面、陶瓷纤维加热盘及高温镍镉炉丝,控制盒构成。

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    本发明的第二个实施例:和***实施例相比之下,第二实施例的特点是在中心点o处增加了封闭的热环5。实际如图5所示,所有加热片中心的自由端与封闭的热环5固定连接;对于热环5的形状可以是椭圆形构造,为了确保电阻阻值的一致,加热片需固定到椭圆形热环5轴对称位置。但是,如果所述热环5的形状是圆形,则热环5只需等间距分布即可。进一步地,所述加热片的数目是两组,包括:***加热片6和第二加热片7;所述***加热片6的***迂回端61和第二加热片7的第二迂回端71彼此纵横组成曲折的留置区8。所述中心点o设有热环5且热环5与两组加热片连通的自由端分别通过***电极91和第二电极92的与电源连接。固定到环形或圆形的热环5的加热片不仅可以安定加热片的间距,同时还可以限制加热板的总体构造,不会让局部变形影响总体;进而化解了疑问一;而总体的环形热环5可以不需要在加热板中心安装电源,可以保证加热板中心的热源温度平稳,同时结合实际推行例一,也可以化解技术疑问二和技术疑问三。实施方式所涉及的加热器具备发光管、发热体及反射膜。上海 PA8005-CC-PCC20A加热板一级代理

碳和沙石中的二氧化硅进行化学反应。上海 PA6015-WP-PCC20A加热板经销

    晶圆加热装置的制作方法文档序号:30596935发布日期:2022-07-0120:52阅读:35来源:国知局导航:X技术>*****>电气元件制品的制造及其应用技术1.本技术属于晶圆加工技术领域,尤其涉及一种晶圆加热装置。背景技术:2.目前,常用的晶圆加热设备的加热丝呈螺旋状从中心向**旋转,加热丝在热盘中的分布不够均匀,无法达到均匀加热的目的,无法满足晶圆的高精度加热要求,而高精度加热对半导体工艺至关重要。3.另外,在晶圆加热前需要先行对晶圆进行定位,在先技术中通常通过真空吸盘定位,但现有的真空吸盘对晶圆的吸附力通常不够均匀,晶圆和真空吸盘间的间隙存在差异,这也会导致晶圆加热不均匀,导致无法满足晶圆加热的精度要求。技术实现要素:4.针对上述问题,本技术提供了一种晶圆加热装置,至少解决了在先技术中真空吸盘吸附力不均匀、晶圆加热不均匀的问题。5.本技术实施例提供一种晶圆加热装置,包括:6.基座;7.真空吸盘,设于所述基座上且用于吸附工件,所述真空吸盘上设有进气孔与气路,所述气路包括若干同心设置的环形气路以及沿若干沿所述真空吸盘的径向延伸的径向气路,每个所述径向气路与各所述环形气路均连通。


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