吉林Marposs 传感器精度
非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承,由于工作在平面度较好的花岗岩表面,因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性,特别适用于高精度检测以及超精加工领域。对射式非接触式同轴激光位移传感器测量•直线电机高精度龙门运动机构•兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量•共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性•兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)•晶圆的测量厚度范围为10um-20mm•抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架•比较大扫描速度1m/s•可自定义生成快速便捷的自动化测量模式•直观简单的2D或3D数据呈现方式•适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准点对点厚度测量, 2个传感器和2个单通道控制器或1个双通道控制器点对点测量对于边缘区域可使用卡钳结构测量。吉林Marposs 传感器精度
半导体行业材料强国是科技强国的基础,第三代半导体材料扮演着愈发关键的角色,也正日益成为国际、国内科技和产业竞争的**领域之一。我国精密加工技术和配套能力进步迅速,已经具备开发并且逐步主导第三代半导体装备的能力。全国多地积极响应,促进地方产业转型升级。该微电子产业发展政策,针对第三代半导体企业购买IP、参与研发多项目晶圆等做出了详细的扶持说明。深圳正实施新一轮创新发展战略布局,机器人、无人驾驶、等新兴产业日新月异,坪山区将依托5G试点,建设第三代半导体产业集聚区。河北光谱共焦传感器解决方案STIL光谱共焦传感器对被测物体表面颜色和光洁度无特殊要求,无论物体表面是漫反射或高光面,甚至是镜面。
速度传感器:是一种将非电量(如速度、压力)的变化转变为电量变化的传感器,适应于速度监测。3.加速度传感器:是一种能够测量加速力的电子设备,可应用在控制、手柄振动和摇晃、仪器仪表、汽车制动启动检测、地震检测、报警系统、玩具、结构物、环境监视、工程测振、地质勘探、铁路、桥梁、大坝的振动测试与分析,以及鼠标,高层建筑结构动态特性和安全保卫振动侦察上液位传感器:利用流体静力学原理测量液位,是压力传感器的一项重要应用,适用于石油化工、冶金、电力、制药、供排水、环保等系统和行业的各种介质的液位测量
优势•■非接触三维表面轮廓测量•■噪音小,测量重复性好•■纳米级分辨率:Z轴分辨率比较高可达0.1nm•■测量的点云数多:一个面**多可以达到500万个点•■点间距小,XY分辨率高•■多种视野范围可供选择,快速切换物镜变换视野•■测量速度快,可实现在线测量技术特点1.干涉条纹扫描测量表面位置信息的理论根据是被测表面上各点深度不同所形成的干涉光强不同。2.产生干涉情况下,波长与可测量的深度数据相对应。3.在白光干涉中,干涉图样是由各色光形成的单色干涉图样形成的。被测表面上各点的深度不同,根据光的波动性与同调性,所对应的干涉光强中各频谱成分的强度不同,各色光的干涉级次不同。有助于更加准确的得到表面的位置信息马波斯测量科技为您提供专业的光谱共焦传感器,欢迎您的来电哦!
光谱共焦技术的非接触测量Irix™是一系列基于彩色共焦技术的非接触式传感器,能够测量对白光透明的任何材料上的距离和厚度。Irix™可同时测量5层材料。该控制器可与一大系列具有不同测量范围、机械尺寸和计量规范的光学探针结合使用,以满足多样化的应用需求。控制器有两种型号可供选择:带7英寸集成显示屏,或带有用于文件柜.display或采用盲板形式,机柜采用带DIN导轨连接。Irix控制器系列由不同型号(1个和2个同步通道)组成,结合各种各样的光学元件(Marposs和STIL),可提供优良的计量性能(高达纳米)。Irix以比较高的质量标准制造,是一种坚固可靠的产品,适合在工业环境中使用。彩色共焦技术允许测量任何能够反射白光的材料(例如:金属、玻璃、塑料、漆膜、液体)。非接触式测量适用于所有需要在不接触目标的情况下进行测量的情况一个光学探针可同时测量多达五个透明层高测量精度可互换传感器;Irix可保存多达32张地图,以便使用比较合适的探头。集成7“显示器不受热噪声和电噪声影响的无源光学探头SDK和协议命令的可用性,便于集成到任何系统中缩小测量点动态采集用编码器同步测量(空间同步)粗糙度测量适用于在线应用高灵敏度和高精度可提供卡钳结构或测量设备可结合马波斯Quick-SPC软件进行数据处理。北京stil传感器品牌
光谱共焦传感器,就选马波斯测量科技,有想法的可以来电咨询!吉林Marposs 传感器精度
什么是光谱共焦?光学传感器提供比较好的技术以满足非接触尺寸测量**苛刻的要求。基于使用空间彩色编码的创新光学原理,我们的传感器使用户能够以非凡的精确度对任何类型的材料进行测量。用于工业环境中的设计,STIL传感器的各系列,吸引集成器与测量检测机器轻松连接,这归功于为每台仪器提供的动态链接库(DLL)光学原理我们的光学传感器基于高度创新的共焦彩色成像原理。入射的白光***通过彩色物镜成像为沿Z轴的连续单色图像,从而沿光轴提供“颜色编码”反向散射的光束通过过滤***进入光谱仪,该光谱仪确定波长已完全聚焦于物体上,然后精确地确定其在测量场的位置。共聚焦光谱成像技术以极高的分辨率提供可靠、精确和可再现的尺寸测量。吉林Marposs 传感器精度
马波斯(上海)测量设备科技有限公司是以提供机床领域检测系统,标准与非标尺寸检测,泄漏与装配测试,工业电脑与软件为主的有限责任公司,公司始建于2006-05-15,在全国各个地区建立了良好的商贸渠道和技术协作关系。马波斯工业测量以机床领域检测系统,标准与非标尺寸检测,泄漏与装配测试,工业电脑与软件为主业,服务于机械及行业设备等领域,为全国客户提供先进机床领域检测系统,标准与非标尺寸检测,泄漏与装配测试,工业电脑与软件。多年来,已经为我国机械及行业设备行业生产、经济等的发展做出了重要贡献。
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