上海防止氧化真空烘箱监控系统
在CCD(电荷耦合器件)制造过程中,颗粒沾污对CCD的薄膜质量、光刻图形完整性等有很大的影响,降低CCD的成品率。CCD制造过程中的颗粒来源主要有两个方面:一个制造过程中工艺环境产生的颗粒;另一个是薄膜的淀积、光刻和离子注入等CCD工艺过程中产生的颗粒。工艺环境的颗粒可来源于墙体、设施、设备、材料和人员,工艺过程的颗粒来源于易产生粉尘的工艺,比如说LPCVD淀积多晶硅和氮化硅及刻蚀工艺等。无尘烘箱,即使在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100,为CCD(电荷耦合器件)制造过程中烘烤提供洁净环境,预防颗粒沾污能够向内部充入惰性气体,特别是一些成分复杂的物品也能进行快速干燥。上海防止氧化真空烘箱监控系统
真空烘箱
真空烘箱设备包括了内胆的材料、控制器的选择、密封性、加热管的设计、线路的布置、以及外观的设计等设计内容,这些因素的选择与设计从一定程度上决定了真空烘箱的品质好坏和,因此,如果要使得真空烘箱达到理想的干燥效果,研发设计者必须认真对待每一个细小的因素,从部分到整体进行落实。,真空烘箱如何保持真空是关键。“主要的还是要密封,密封性能的好坏直接影响到真空度,简言之就是真空烘箱的密封圈损坏会直接影响到密封性,真空烘箱被应用在化工、制药行业,这些行业本身有化学成分,所以配件就很容易损耗。真空烘箱漏气很可能是因为密封圈已破损。烘箱硅橡胶是不耐腐蚀和酸碱性的,所以在使用的时候需要特别的注意,不能让液体直接接触到密封圈。真空烘箱专为干燥热敏性、易分解和易氧化物质而设计,能够向内部充入惰性气体,特别是一些成分复杂的物品也能进行快速干燥。长方体工作室,使有效容积扩大,微电脑温度控制器,控温精确。技术的创新改进与研究是促进真空烘箱进步的主要源泉。噪音小真空烘箱价格微电脑智能温控仪设定参数。
使用注意事项:7.真空箱经多次使用后,会产生不能抽真空的现象,此时应更换门封条或调整箱体上的门扣伸出距离来解决。当真空箱干燥温度高于200℃时,会产生慢漏气现象(除6050、6050B、6051、6053外),此时拆开箱体背后盖板用内六角扳手拧松加热器底座,调换密封圈或拧紧加热器底座来解决。8.放气阀橡皮塞若旋转困难,可在内涂上适量油脂润滑。(如凡士林)9.除维修外,不能拆开左侧箱体盖(6090及6210型除外)以免损坏电器控制系统。10.真空箱应经常保持清洁。箱门玻璃切忌用有反应的化学溶液擦拭,应用松软棉布擦拭。11.若真空箱长期不用,将露在外面的电镀件擦净后涂上中性油脂,以防腐蚀,并套上塑料薄膜防尘罩,放置于干燥的室内,以免电器元件受潮损坏,影响使用。12.真空箱不需连续抽气使用时,应先关闭真空阀,再关闭真空泵电源,否则真空泵油要倒灌至箱内。
真空镀膜蒸镀塑料件工艺流程:1、来料检查;2、干燥待真空镀膜镀件来料时含较多的水分,需干燥处理3-5小时,温度50-60度;3、上架,一般注塑时基本按真空镀膜机生产,因此待真空镀膜镀件表面一般油污较少经过一般的擦拭就可上架,但是来料油污多时需进行去污处理。方法是用清沾剂逐件刷洗,漂洗,烘干。油污严重时还需要用清洗剂在50-60度,浸泡15-20min进行脱脂处理;4、除尘,这道工序是保证真空镀膜镀膜质量的关键之一,方法有两种:一种是用吸尘器对准待真空镀膜镀件仔细地除尘,另一种是用高压其“吹尘”的方法;5、涂底漆;6、烘干,涂漆流平后进行干固处理,方法有红外线加热法,电热加热法及紫外线(UV)固化法等,固化温度为60-70度,固化时间为;7、真空镀膜,真空镀膜是保证真空镀膜镀膜质量的关键。真空镀膜的镀膜操作:待真空镀膜镀件上架并装上钨丝,然后入炉,检查接触是否良好,转动正常,关真空镀膜真空室,抽真空,真空镀膜蒸发铝,作为装饰膜真空镀膜蒸铝时的真空镀膜真空度控制在(1-2)*10-2Pa,真空镀膜蒸发采用快速蒸发可减少氧化概率,又不会使真空镀膜磨蹭的组织结构变粗。冷却充气,真空镀膜蒸铝以后,即可充气出炉;8、涂面漆。 真空泵要停止使用时,先关闭闸阀、压力表,然后停止电机。
与普通干燥箱相比,真空烘箱突出的优势为它的加热方式。真空烘箱是四面安装有紧贴真空室外箱壁金属板的功率相同的电热丝,所以在电热丝在进行加热时,热量通过真空室的不锈钢金属壁辐射到工作室内,保证了工作室内的温度辐射热量相同,从而使得烘干中的物料保持均匀性。随着时间的推移和设备的使用,真空烘箱在工作中也暴露了许多缺陷。真空烘箱的维修很麻烦,对于电热丝烧断的维修,只能先把真空烘箱的大门拆掉,然后取下硅胶密封条并拆掉真空室的固定螺丝,再拆掉真空烘箱后面的盖板,取出所有的保温岩棉,拆卸出真空室。这样繁琐的步骤结束后才能更换新的电热丝并重新安装真空烘箱设备。此外,真空烘箱的温度上升慢、下降慢问题,给干燥工作带来一定的局限性,且真空实验结束后,还容易使得实验人员被真空室的四周金属壁烫伤,因此真空烘箱的安全性和人性化设计需要进一步改进。不得放易燃、易爆、易产生腐蚀性气体的物品进行干燥。衢州快速干燥真空烘箱维修维护
干燥完成后,先将放气阀打开,放出里面气体,再进行打开真空干燥箱箱门,取出物料。上海防止氧化真空烘箱监控系统
低温对产品的影响1、橡胶等柔韧性材料的弹性降低,并产⽣破裂;2、⾦属和塑料脆性增⼤,导致破裂或产⽣裂纹;3、由于材料的收缩系数不同,在温变率较⼤时,会引起活动部件卡死或转动不灵;4、润滑剂粘性增⼤或凝固,活动部件之间摩擦⼒增⼤,引起动作滞缓,甚⾄停⽌⼯作;5、元器件电参数发⽣变化,影响产品的电性能;6、结冰或结霜引起产品结构破坏或受潮等。⼆、低温环境效应1、使材料硬化及脆化。2、不同材料的不同收缩特性⽽使零件卡死。3、由于润滑剂增加黏性⽽失去润滑作⽤。4、电性改变(如电阻,电容等)。5、变压器和机电组件功能改变。6、冲击基座变硬。7、物破裂,如铵硝酸。8、使试件产⽣裂痕、脆化并改变耐冲击强度及减低强度。9、玻璃产⽣静⼒疲劳。10、使⽔凝结和冰冻。11、减低⼈的灵巧性及使听⼒和视⼒退化。12、改变燃烧速率。上海防止氧化真空烘箱监控系统
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