上海马波斯传感器技术
闪测仪测量更准确采用双倍率双侧远心光学镜头,具有较高的远心度,即使有段差情况下也能高精度正确的测量。倍率涵盖0.16X大视野/0.7X高精度。一键测量闪测仪是一种新型的影像测量技术,它和传统的二次元影像测量仪不同的是它不再需要光栅尺位移传感器作为精度标,也不要经过大焦距的镜头经过放大产品影像来保障测量精度。多年来精密测量业里流行着这么一句话:影像测量仪是传统投影仪的替代产品,影像测量仪将取代传统投影仪。如今我们将再一次打破传统,闪测仪将取代影像测量仪和传统投影仪用点光谱或线光谱传感器测量晶圆上的翘曲/平面度 凸块测量CLMG/EVERESTK1/K2传感器系列可达360,000测点/秒。上海马波斯传感器技术
什么是静态噪声?静态噪声(StaticNoise,简称SN),位于测量范围中心、完全静态的样品测得的噪声级别的RMS。我们的参数表给出了两个SN值:一个没有时间平均值,另一个时间平均值为10。这是比较大可接受值。校准后立即测量每个传感器的SN,并在校准证书中指定。该参数决定了传感器的轴向分辨率。什么是测量精度?测量精度,是将传感器测量的距离与1纳米精度的编码器确定的样本位置进行比较时观察到的比较大误差。校准后,此参数立即如下条件下测量:优化率,倾斜角度=0°,时间平均=测量频率/10,采样步数至少为100。对于“自适应LED”模式的传感器,此模式已启用。精度对于传感器和校准台的短期重复来说是个良好指标。表中的数值为比较大可接受值:每个传感器的准确度在校准后立即测量,并在校准证书中指示。测量精度,是将传感器测量的距离与1纳米精度的编码器确定的样本位置进行比较时观察到的比较大误差。福建2D 测量传感器技术马波斯测量科技是一家专业提供光谱共焦传感器的公司,欢迎您的来电!
而光谱共焦测量方法恰恰利用这种物理现象的特点。通过使用特殊透镜,延长不同颜色光的焦点光晕范围,形成特殊放大色差,使其根据不同的被测物体到透镜的距离,会对应一个精确波长的光聚焦到被测物体上。通过测量反射光的波长,就可以得到被测物体到透镜的精确距离。这一过程与摄影器材通过各种方法消减色差的过程正好相反。白色光通过一个半透镜面到达凸透镜。上述特殊色差就在这里产生。光线照射到被测物体后发生反射,透过凸透镜,返回到传感器探头内的半透镜上。半透镜将反射光折射到一个穿孔盖板上,小孔只允许聚焦好的反射光通过。透过穿孔盖板的光是一组模糊光谱,也就是说若干不同波长的光都有可能穿过小孔照在CCD感光矩阵单元上。但是只有在被测物体上聚焦的反射光拥有足够光强,在CCD感光矩阵上产生一个明显的波峰。在穿孔盖板后面,需要一个分光器测量反射光的颜色信息。分光器类似一个特制光栅,可以根据反射光的波长,增强或减弱折射率。因此,CCD矩阵上的每一个位置,对应一个测量物体到探头的距离。
所有不同波长的可见光重叠在一起,形成白光。人类肉眼可见光的波长范围从400nm(蓝光)到700nm(红光)。通过透镜,不同颜色的光不会聚焦到同一个点上。这种现象称为色差透镜错误或者叫色差透镜偏差。众所周知,自然界的日光属白光一种,白光不是纯洁的光,而是许多单色光组成的。光在不同介质中传播可能会有角度偏差的现象产生,而实际的白光照射下不同介质将有很多单线光的折射。光学材料(透镜)对于不同单色光的折射率是不同的,也就是折射角度不同波长愈短折射率愈**长愈长折射率愈小(这也是不同望远镜所谓的色差不同的原因),同一薄透镜对不同单色光,每一种单色光都有不同的焦距,按色光的波长由短到长,它们的像点离开透镜由近到远地排列在光轴上(不同的单色光的波长是不同的)这样成像就产生了所谓色差透镜错误。色差透镜错误使成像产生色斑或晕环。在摄影器材中,应通过特殊处理,尽量消减色差透镜错误导致的成像问题。常用的消除方法有双胶合系统与双分离系统。适用于在线应用高灵敏度和高精度可提供卡钳结构或测量设备可结合马波斯Quick-SPC软件进行数据处理。
光谱共焦传感器可以测量几乎任何类型的材料(玻璃,陶瓷,塑料,半导体,金属,织物,纸张,皮革等)制成的样品。它们可以测量抛光表面(镜子,镜片,晶圆)以及粗糙表面。光斑尺寸、比较大采样斜率、工作距离和测量范围,分别是什么概念比较大采样斜率(M,简称MSS),是光轴和样品表面法线之间的比较大角度,在此角度条件下测量依然可行。MSS是测量点处的实际局部斜率,而非理论上“平均曲面”的斜率。此功能*对镜面(镜面状)表面有重要意义;对散射表面,比较大采样斜率更高。对于所有类型的采样,采集信号的强度都随着倾斜角度的增加而减小。光斑尺寸(Spotsize),指光点的理论尺寸,即光斑的大小。工作距离(WorkingDistance),光学笔前端到量程近端的距离。测量范围(MeasuringRange,简称MR),0到比较大可量测值的区间范围。又叫测量行程。马波斯测量科技致力于提供专业的光谱共焦传感器,竭诚为您。北京非接触式传感器价格
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什么是光谱共焦技术?光谱共焦位移传感器提供比较好的技术以满足非接触尺寸测量**苛刻的要求。基于使用空间彩色编码的创新光学原理,光谱共焦传感器使用户能够以非凡的精确度对任何类型的材料进行测量。传感器适用于绝大多数行业:计量或研究实验室中的高精度仪器,工业生产线上的质量控制。用于工业环境中的设计,传感器的各系列,吸引集成器与测量检测机器轻松连接,这归功于为每台仪器提供的动态链接库(DLL)。光谱共焦成像基于2个原则:l共焦成像l光轴的彩色编码。共焦装置是一种光学装置,光学系统在物体的表面上产生点光源S的图像S’。反向散射光由相同的光学系统收集,该光学系统在***S’’处成像。***被置于光电探测器的前面,它过滤可以到达光电探测器的光线,因此它也被称为“空间滤波器”。共焦装置的特点是具有特殊的信噪比。按照CCI原理,光学系统是彩色光学头,光电探测器是一个光谱仪。上海马波斯传感器技术
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