双旋片真空泵经销商
动量传输泵:这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给气体或气体分子,使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。具体可分为下述几种类型:分子真空泵:它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子,使之压缩、排气的一种真空泵。它有如下几种型式:① 牵引分子泵:气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得力量,被送到出口,因此,是一种动量传输泵。②涡轮分子泵:泵内装有带槽的圆盘或带叶片的转子,它在定子圆盘(或定片)间旋转。转子圆周的线速度很高。这种泵通常在分子流状态下工作。③ 复合分子泵:它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联起来的一种复合式分子真空泵。真空泵转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。双旋片真空泵经销商
真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。应该正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg(绝压),在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线),其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜,而不能让它在25~30mmHg下长期工作。双旋片真空泵经销商真空泵常用名称:①主泵、②前级泵、②前级泵。
分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速只为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。
真空泵油的光滑性:摩擦面的磨擦磨损、外表疲倦磨损以及腐蚀磨损等,都与光滑条件有关。表现佳的真空泵油有利于抑止腐蚀磨损;能够有效地减轻粘着磨损和外表疲倦磨损;流体光滑剂对摩擦面具有清洗作用,也可减轻磨擦磨损。降低摩擦阻力以节约能源,减少磨损,以延长机械寿命。真空泵油的降温冷却性能降低摩擦面的温度是光滑的一个重要作用。摩擦面运动时必需克制摩擦力而作功,耗费在克制摩擦力上的功全部转化为热量,其结果将惹起摩擦面温度上升。摩擦热的大小与光滑状态有关,粘度高的热量比较大,粘度低的热量比较小,而边境摩擦的热量则介于两者之间。由此可见,用适宜粘度的真空泵油不只能够完成液体光滑,减少摩擦热的产生,而且还能够将摩擦热及时地带出泵体外。真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。
根据使用的范围和抽气效能可将真空泵分为三类:(1)一般水泵,压强可达到1.333~100kPa(10~760mmHg)为"粗"真空。(2)油泵,压强可达0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)为"次高"真空。(3)扩散泵,压强可达0.133Pa以下,(10-3mmHg)为"高"真空。若要较低的压力,那就要用到油泵了,好的油泵能抽到133.3Pa(1mmHg)以下。在有机化学实验室里常用的减压泵有水泵和真空泵两种,若不要求很低的压力时,可用水泵,如果水泵的构造好且水压又高,抽空效率可达1067~3333Pa(8~25mmHg)。水泵所能抽到的比较低压力理论上相当于当时水温下的水蒸气压力。例如,水温25℃、20℃、10℃时,水蒸气的压力分别为3192、2394、1197Pa(8-25mmHg)。用水泵抽气时,应在水泵前装上安全瓶,以防水压下降,水流倒吸;停止抽气前,应先放气,然后关水泵。真空泵的市场根据用户的需要而发生动态变化。干泵供货费用
罗茨轴承向轴承体润滑油,观察油位应在油中心线,应及时更换或添加润滑油。双旋片真空泵经销商
泵总体结构型式。真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。立式结构的进、排气口水平设置,装配和连接管路都比较方便。但泵的重心较高,在高速运转时稳定性差,故这种型式多用于小泵。卧式泵的进气口在上,排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便,可将排气口从水平方向接出,即进、排气方向是相互垂直的。此时,排气口可以从左或右两个方向开口,除接排气管道一端外,另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重心低,高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制,转子装配方便,泵占地面积小。但泵重心较高且齿轮拆装不便,润滑机构也相对复杂。双旋片真空泵经销商
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