单级旋片真空泵
动量传输泵:这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给气体或气体分子,使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。具体可分为下述几种类型:分子真空泵:它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子,使之压缩、排气的一种真空泵。它有如下几种型式:① 牵引分子泵:气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得力量,被送到出口,因此,是一种动量传输泵。②涡轮分子泵:泵内装有带槽的圆盘或带叶片的转子,它在定子圆盘(或定片)间旋转。转子圆周的线速度很高。这种泵通常在分子流状态下工作。③ 复合分子泵:它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联起来的一种复合式分子真空泵。真空泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;单级旋片真空泵
随着技术的发展,真空技术在各个应用领域的不断扩大,直联旋片泵的需求量越来越大。由于这种真空泵数量很多,加工装配工作量很大,价格又很低,所以有的国外真空厂商在中国建立专业厂。国产中小型直联旋片泵在技术上已经过关,价格又远比国外的泵便宜,所以国产泵仍然有竞争优势,关键是要解决轴封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能质量问题,确保直联泵在高速、高温下性能稳定和运行可靠,同时还要进一步提高国产直联旋片泵抽除水蒸气的能力。永磁变频节能真空泵供货价格真空泵油能迅速将油液中夹带的水分分离出来,达到所需的真空度。
干式螺杆真空泵由于其优越的性能,在欧美和日本已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业选择的真空获得设备,日本在螺杆压缩机基础上,很早就研发出了真空泵的多头转子型线,并投入市场。德国几家真空设备公司也逐步的开发出了等螺距、变螺距转子型线,并在转子和机体冷却方面做了很多研究。中国企业在2008年也将螺杆真空泵的生产进入批量化生产,在化工制药等行业得到很好的应用。在1999年底正式推出的螺杆式无油压缩真空泵是一种专门为工业应用(非半导体应用)设计的干式泵,它是一种全新的设计,是专门用来解决工业应用中艰苦的真空问题,如粉尘、焦油等。此泵也是采用变螺距转子,有内压缩过程,泵腔内无轴承和密封,极大降低了故障率,泵腔内没有内部阀门,因而耐粉尘和焦油能力强,此泵的螺杆采用内部中空冷却,可以降低转子温度和热变形,螺杆寿命长。
就目前而言,国外干泵市场的不断增长,其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,极大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求,国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa~10-2Pa,抽速从20m3/h~500m3/h。前级泵为水环泵,为了防止水环泵的循环水反流进入罗茨真空泵的油箱,罗茨泵额水环泵之间必须安装止回阀。
真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度,选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg,比较好能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。真空泵的价格、运转及维修费用。真空泵油的耐热安定性:表示油品的耐高温才能,也就是光滑油对热合成的抵御才能,即热合成温度。一些苛刻的真空运用环境都会对真空油品提出热安定性的请求。自然矿物油均有其不可防止的缺陷,耐热性能要比合成油差,泵油的成份随热氧化合成极易劣化,极限压力稳定性差,抽速也随运用时间降落。普通纯矿物油氧化实验法D943为几百小时左右,而合成油的D943可延长到3000小时以上。可见其运用寿命得到延长。真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。旋片式机械真空泵批发价
卧式真空泵的进气口在上,排气口在下。单级旋片真空泵
真空泵油的光滑性:摩擦面的磨擦磨损、外表疲倦磨损以及腐蚀磨损等,都与光滑条件有关。表现佳的真空泵油有利于抑止腐蚀磨损;能够有效地减轻粘着磨损和外表疲倦磨损;流体光滑剂对摩擦面具有清洗作用,也可减轻磨擦磨损。降低摩擦阻力以节约能源,减少磨损,以延长机械寿命。真空泵油的降温冷却性能降低摩擦面的温度是光滑的一个重要作用。摩擦面运动时必需克制摩擦力而作功,耗费在克制摩擦力上的功全部转化为热量,其结果将惹起摩擦面温度上升。摩擦热的大小与光滑状态有关,粘度高的热量比较大,粘度低的热量比较小,而边境摩擦的热量则介于两者之间。由此可见,用适宜粘度的真空泵油不只能够完成液体光滑,减少摩擦热的产生,而且还能够将摩擦热及时地带出泵体外。单级旋片真空泵
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