微型罗茨真空泵规格

机械安装⑴真空泵应安装在地面结实坚固的场所，周围应留有充分的余地，便于检查、维护、保养。⑵真空泵底座下应保持地基水平，底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装，确保真空泵运转平稳，振动小。⑶真空泵与系统的连接管道应密封可靠，对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶，对小真空泵可采用真空胶管连接，管道管径不得小于真空泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。（焊接管路时应去除管道中焊渣，严禁焊渣进入真空泵腔。）⑷在连接管路中，用户可在真空泵进气口上方安装阀门及真空计，随时可检查真空泵的极限压力。⑸按电动机标牌规定连接电源，并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。⑹真空泵通电试运转时，须取下电机皮带，确认真空泵转向符合规定方向方可投入使用，以防真空泵反转喷油。（转向按防护罩指示方向）⑺对于有冷却水的真空泵，按规定接通冷却水。⑻如真空泵口安装电磁阀时，阀与真空泵应同时动作。⑼当真空泵排出气体影响工作环境时，可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。真空泵主动轴通过联轴器与电机联接。微型罗茨真空泵规格

叶轮被偏心的安装在泵体中，当叶轮旋转时，进入水环真空泵泵体的水被叶轮抛向四周，由于离心力的作用，水形成了一个与泵腔形状相似的等厚度的封闭的水环。水环的上部内表面恰好与叶轮轮毂相切，水环的下部内表面刚好与叶片顶端接触。此时，叶轮轮毂与水环之间形成了一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成与叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的上部0°为起点，那么叶轮在旋转前180°时，小腔的容积逐渐由小变大，压强不断的降低，且与吸排气盘上的吸气口相通，当小腔空间内的压强低于被抽容器内的压强，根据气体压强平衡的原理，被抽的气体不断地被抽进小腔，此时正处于吸气过程。旋片式真空泵供应企业前级泵为水环泵，为了防止水环泵的循环水反流进入罗茨真空泵的油箱，罗茨泵额水环泵之间必须安装止回阀。

分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速只为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。

在水环真空泵中装有适量的水作为工作液。当叶轮按图中顺时针方向旋转时，水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触（实际上叶片在水环内有一定的插入 深度）。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部0°为起点，那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大，且与端面上的吸气口相通，此时气体被吸入，当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝；当叶轮继续旋转时，小腔由大变小，使气体被压缩；当小腔与排气口相通时，气体便被排出泵外。真空泵转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。

为了避免罗茨真空泵的误操作，一般多设有旁路溢流阀。根据对罗茨泵的特殊需要，也有将油的齿轮箱，轴承等部件与泵腔做成分离式结构的。在罗茨泵的压缩过程中产生的热量被传到转子和泵体上。转子很难将热量传至泵外，而泵体的热量很容易被散失到周围大气中。因而转子与泵体之间就出现了温差。加剧了转子的热膨胀。当泵负荷增大时，转子膨胀会消失间隙，而被卡死。因此出现了气冷式罗茨泵，用冷却的气体或大气去直接冷却热态的转子，从而减少了转子与泵壳间的温差，提高了罗茨泵的抗热能力。真空泵的前级压强:真空泵的前级压强 单位是Pa，它是指排气压强 低于一个大气压的真空泵的出口压强。双级旋片真空泵代理商

真空泵的何氏系数：泵抽气通道面积上的实际抽速 与该处按分子泻流计算的理论抽速之比。微型罗茨真空泵规格

真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg，比较好能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。真空泵的价格、运转及维修费用。真空泵油的耐热安定性：表示油品的耐高温才能，也就是光滑油对热合成的抵御才能，即热合成温度。一些苛刻的真空运用环境都会对真空油品提出热安定性的请求。自然矿物油均有其不可防止的缺陷，耐热性能要比合成油差，泵油的成份随热氧化合成极易劣化，极限压力稳定性差，抽速也随运用时间降落。普通纯矿物油氧化实验法D943为几百小时左右，而合成油的D943可延长到3000小时以上。可见其运用寿命得到延长。微型罗茨真空泵规格