韩国加工超精密晶圆卡盘

精密零件的加工生产离不开精密切削技术，半导体/LCD、MLCC、二次电池等领域尤其使用精密零件。一般磨削技术的问题是，磨削后要根据叶轮磨损量继续进行修整，修整后叶轮表面会发生细微变化，因此很难保持相同的质量。相反，ELID研磨技术可以解决这些问题，因为无需研磨即可连续工作。微泰的ELID（在线砂轮修正）技术和经验为基础，实现高精度的切削加工技术，由此生产的产品具有一般难以生产的高精度平坦度和质量。提高真空板（VACUUM 板）表面粗糙度，改善刀片的表面粗糙度，减少研磨时的Burr，无需手动调整可以连续稳定作业。刀片可以做到，材料：碳化钨、氧化锆等。刀片厚度（t1）：100㎛叶片 。边缘厚度（t2）：低于0.2㎛。刀刃线性度：低于5㎛。刀刃对称性：低于3㎛。刀片边缘粗糙度：Ra0.02㎛。角度（θ）精度：±0.3°不改变基材成分的激光超精密加工应用有激光淬火(相变硬化)、激光清洗、激光冲击硬化和激光极化等。韩国加工超精密晶圆卡盘

一般来说，抛光是指利用陶瓷泥浆进行机械聚光，以及石英和蓝宝石等主要使用的抛光。利用激光的抛光技术在技术上经常被提及，但未能应用于工业现场。因此，微泰感受到了在精密切削加工后，为了校正细微的平面度，需要采用抛光技术，通过与国外诸多研究机构的合作，开发出激光抛光设备，并将其应用于工业现场。激光抛光技术是微泰自主技术，利用它进行大面积抛光和研后微调、加工等多个领域。刀具方面，刀锋可以加工到0.2微米厚度，刀片对称度到达3微米以下，刀片边缘线性低于5微米以下。我们特别专注于生产需要高难度、高公叉、高几何公叉的产品，超精密零件，包括耗散零件、喷嘴、索引表和夹钳，以及用于 MLCC 和半导体领域的各种精密零件，真空板。 可以加工和制造各种材料，包括不锈钢、硬质合金、氧化锆和陶瓷，刀具，刀片，超高精密治具，镜头切割器和刀具C L切割器、TCB 拾取工具、折叠芯片模具、摄像头模组的拾取工具，治具。特别是超薄，超锋利的镜头切割器，光滑无毛边地切割塑料镜片的浇口，占韩国塑料镜头切割刀具90%以上的市场，精密要求极高的摄像机传感器与IC、PCB进行热压接合用治具，也占韩国90%以上市场高精度超精密VACUM CHUCK激光超精密加工的对象范围很宽，包括几乎所有的金属材料和非金属材料，适于材料的打孔、焊接、表面改性等。

微泰使用激光加工超精密几何产品。可以对各种材料（包括 PCD、PCBN、陶瓷膜、硬质合金、不锈钢、热处理钢和钼）进行精细加工。在工业加工中，没有激光，很难实现。然而，典型的激光加工机的加工质量主要取决于激光成形加工，而激光成形加工的精度只有 ±0.1 mm 。 这是因为激光是以切割为主的行业。相比之下，微泰加工技术非常成熟，生产和供应精度高、质量高的激光加工产品。应用于PCD嵌件、断屑漕、激光固定板、Ink-

cup板、MLCC测包机分度盘。

微泰利用激光制造和供应超精密零件。从直接用于 MLCC 和半导体生产线的零件到进入该生产线的设施的零件，他们专门生产需要高精度、高公差和几何公差的产品。微泰以 30 年的磨削和成形技术、钻孔技术和激光技术为基础，生产并为各行各业的客户提供各种高质量的精密零件。利用激光进行钻孔、成形、切割和抛光等所有加工，从树脂系列到金属系列，再到陶瓷系列，所有材料的加工都不受限制。 在需要时，要找到能够提供零件和装配组件的合作伙伴并不容易。微泰，始终致力于成为很好的合作伙伴，并满足所有这些条件。应用于1，MLCC吸膜板，2，各种MLCC刀具，刀片。3，MLCC掩模板 阵列遮罩板 。4，测包机分度盘。5，各种MLCC设备精密零件。6，各种喷嘴。7，COF BONDING TOOL（卷带绑定TOOL）。8，倒装芯片键合治具 透过超精密加工产生出来的零件精细度高，不仅能提升产品的品质与耐用度，还能达到客制化的效果。

微泰，精湛的超精密加工技术，可达到微米级加工，充分考虑材料的特殊性加工超平整零件，平整度公差小于 3 um零件精密加工的关键在于确保高水平的精度和质量，并确保与既定尺寸的偏差小实现。 精密加工的半导体晶圆真空卡盘的平面度公差不超过 3 μm，并通过三维接触测量仪进行全数检查和系统质量的管材，为全球客户提供精密加工。 铝（AL5052、AL6061、AL7075）、不锈钢（SUS304、SUS316、SUS630）。 铜、钨、钛和蒙奈尔合金（MONEL）。 处理聚醚醚酮 (PEEK)、聚甲醛 (POM) 和聚酰亚胺 (PI) 等材料，需要精密加工。使用高难度材料，如无氧高导铜 (OFHC)制造半导体精密零件。改变基材成分的超精密加工包括激光熔覆、激光电镀、激光合金化和激光气相沉积等应用。高精度超精密VACUM CHUCK

超精密加工包括微细加工、超微细加工、光整加工、精整加工等加工技术。韩国加工超精密晶圆卡盘

微泰提供半导体精密元件精密制造和供应机械设备（包括半导体生产设备、生物电池、新能源电池、航空航天和罗机器人）所需的所有精密部件和模型。 根据客户的需求，提出改进功能的想法和设计，以及生产、质量控制和检测系统的高效集成基础设施、材料和部件。 通过与国内外设备制造商的合作，我们能够以高速度、高质量和有竞争力的优化成本提供客户满意的产品。尺寸：MCT 5 ~ 6.5 英寸。 CNC 6 ~ 10 英寸， 旋铣  材料:AL5052, AL6061, AL7075, SUS304, SUS316,SUS630, Copper, Tungsten, Titanium, Monel, POM,PEEK。半导体精密元件特性：保持严格的公差，因此零件的制造非常精确，并需要高加工能力，以便与指定公差的偏差小。 在整个加工过程中进行严格的质量控制，识别和纠正零件的规格和偏差，从而制造出高质量的精密零件。韩国加工超精密晶圆卡盘