上海半导体净化工程标准

ULSI制程大都采用此种型式。 洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。 (2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和 作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。 (3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。 净化工程的规划应考虑未来技术的发展和升级。上海半导体净化工程标准

人员和工艺所产生的悬浮污染可立即被这种空气***掉，而紊流通风系统采用的是混合与稀释原理。在一间没有任何障碍物的空房间，单向流用比前面提到的低得多的风速，就可以很快将污染物***。但在一个操作间，机器以及机器周围走动的人员，会对气流形成障碍。障碍物可以使单向流变成紊流，从而在障碍物周围形成气流团。人员的活动也可以使单向流变成紊流。在这些紊流中，由于风速较低，空气稀释程度较小，从而使得污染浓度较高。因此，必须将风速保持在0.3米/秒至0.5米/秒（60英尺/分钟至100英尺/分钟）的范围里，以便使中断的单向流能快速恢复，充分稀释障碍物周围紊流区的污染。滁州医院净化工程报价物理性净化和化学性净化是净化工程的两大分类，各有其独特的应用场景。

，确保为各行各业提供符合标准的净化设备与过滤设备。经过多年净化空调工程的施工经验，我公司对各行业的生产工艺流程熟悉，如电子、微电子、半导体、实验室、LCD-TFT、医药、医疗、激光、雷射、印刷、光学、化学、生物、食品、化妆品、模具、航天航空、新能源等高科技行业。我们按照国家有关标准为各行业客户提供合理的方案，并免费设计，设计技术指标均符合国标洁净室标准，公司严格执行通风空调和空气净化的各项国家规范标准，凡是由我公司承接的项目，客户都能够顺利的通过有关部门的检测验收，确保产品质量及工程施工质量，赢得了客户满意，我们将竭诚为您服务。

手术室净化公司建议，要使用空调系统使气流流通,进而控制室内的温湿。4、空气过滤,这里手术室净化公司使用的是初效过滤器进行空气过滤。要将室内空气中μm的微粒数过滤,将空气菌过滤,过滤容易产生化学反映的一些不必要的空气。5、将过滤的空气送出房间,这里使用的是净化管道送风,俗称:送风管道6、再次进行空气过滤,这里我们使用高效过滤器进行过滤,让空气洁净度更加适应手术室。7、再次送风,使用高效送风口戒FFU送风单元,再次将过滤后的空气送出手术室。8、将洁净气流送入手术室。9、正压送同风10、回风。净化工程是确保生产环境洁净度的关键。

优点： A.空气处理效果较好的，处理过后的空气在送风过程中被污染程度低。送风的温度、湿度控制效果可以达到较好的控制。主要在空气处理机组(增压风柜)里进行控制; B.布置灵活。自带冷源; C.大小厂房、新旧厂房都适用; D.维修频率较低; E.车间噪音低。 缺点： A.需要小面积的机房。需要有冷却塔 [1] 、冷却水泵的摆放位置; B.空调机组与空调处理机组要集中布置; C.造价较低。特点：这种方案可以是一次回风也可以是二次回风，具体根据车间的大小情况而定;这类方案一般可以适用于洁净度为千级、万级、十万级等的净化无尘厂房。 净化工程的实施应遵循可持续发展的原则。无锡无菌室净化工程标准

净化工程的实施应考虑到操作人员的舒适度。上海半导体净化工程标准

净化工程解决方案 编辑 大部分净化厂房尤其电子工业用的洁净厂房都有严格的恒温、恒湿的要求，不仅对厂房内的温、湿度有严格的要求，而且对温度和相对湿度的波动范围也有严格的要求。因此，在净化空调系统的空气处理上要采取相应的措施，例如：夏季要降温、去湿（因为夏季室外空气是高温、高湿的），冬季要加热加湿（因为冬季室外空气是寒冷干燥的，室内湿度过低会产生静电，静电对电子产品的生产是致命的）。 对于净化空调系统的加湿问题而言，常用的加湿方法有很多种，有淋水、湿膜、高压喷雾超声波等水加湿，这些加湿方法属等焓加湿过程。上海半导体净化工程标准