上海汽车车灯真空镀膜设备

本实用新型涉及真空设备领域，尤其涉及一种真空反应腔室和真空镀膜设备。背景技术：目前，真空设备，例如，pecvd（plasmaenhancedchemicalvaporde****ition，等离子体增强化学气相沉积）和pvd（physicalvaporde****ition，物宝来利相沉积）设备已被广泛应用于各种产品的生产过程中，如光伏电池、半导体器件等等。真空设备中(如pecvd设备、pvd设备)的宝来利真空反应室通常为单个反应腔室，传动部件和升降部件等机械模块部件以及溅射靶材等工艺模块部件均设置于该单个反应腔室内，这就造成反应腔室内的工艺环境不够封闭，容易造成工艺环境污染。另外，设置单个反应腔室时，由于工艺反应区域较大，容易造成工艺所需原料的浪费，同时，还会造成工艺反应过程中温度波动大，不可控因素较多，从而影响工艺过程。技术实现要素：本实用新型的宝来利真空目的在于提供一种真空反应腔室，以解决现有真空设备中由于只设置一个反应腔室造成的工艺环境易被污染、工艺原料易被浪费、环境温度可控性低等问题。本实用新型的第二目的在于提供一种包含本实用新型真空反应腔室的真空镀膜设备。为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：一种真空反应腔室，包括：用于提供真空环境的外腔体。 宝来利真空镀膜设备性能稳定，膜层均匀耐磨，高尔夫球具镀膜，有需要可以咨询！上海汽车车灯真空镀膜设备

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提升了清理效率。附图说明图1为本实用新型结构示意图。图2为本实用新型的结构示意俯视图。图中：1控制箱、2前罐体、3后罐体、4清理装置、41通孔、42喷头、43刮板、44u形架、5驱动装置、51半圆槽、52半圆板、53转轴通孔、54减速电机、55防护罩、6泵、7集料盒、71出料口、72外螺管、73收集盒、8清洗箱。具体实施方式下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例**是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。请参阅图1、图2，本实用新型提供一种技术方案：一种磁控溅射真空镀膜机，包括控制箱1，控制箱1的上表面后侧固定安装后罐体3，后罐体3的前表面铰接有前罐体2，后罐体3的前表面上侧固定安装有驱动装置5，驱动装置5，驱动装置5的下侧安装有清理装置4，清理装置4包括u形架44，u形架44的下端通过轴承转动安装在后罐体3的内部下侧，u形架44的外侧固定安装有刮板43，刮板43的外侧与后罐体3、前罐体2的内表面紧密贴合，后罐体3和前罐体2的上表面外侧均匀开设有通孔41。 品质刀具模具真空镀膜设备，请选丹阳市宝来利真空机电有限公司，有需要可以来咨询考察！

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