显微式激光干涉仪加工设计

激光具有高的强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。以激光波长为已知长度利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量.工具激光干涉仪有单频的和双频的两种。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。显微式激光干涉仪加工设计

激光干涉仪使用环境：因为光学玻璃受热变形将产生光学表面光圈的变化，温度不稳定将直接影响测量精度的可靠性，所以激光干涉仪的使用对环境也有一定的要求：1、温度要求在20℃左右，湿度不大于60%。2、远离振动源，以免条纹产生抖动影响测量精度的判断。目前激光干涉仪已普遍地应用在光学加工企业、光学检测机构以及其他需要进行光学表面检测的场合，南京光研推出的一款激光干涉仪还具有体积小、重量轻、移动灵活的特点，用12v电源，其耗电量极低，干涉图像与对准系统同步、不需要切换，任何人都能简单操作，非常适合大批量快速检测。显微式激光干涉仪加工设计激光干涉仪使用注意事项：导轨、丝杆、螺母与轴孔部分等传动部件，应当保持良好的润滑。

激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具，可按照规定标准处理测量数据并输出误差曲线，为数控机床的误差修正提供可靠依据，现场使用尤为方便。激光干涉仪配有各种附件，可测量小角度、平面度、直线度、平行度、垂直度等形位误差。激光干涉仪也是一种高精度位移传感器，可直接用于高精度、大尺寸的动态位移测量系统。激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量元件的检测和刻划功能，可按预定的间距自动完成检测和刻划定位。

激光干涉仪的测量精度高：以激光干涉技术为关键，分辨率可达纳米级;采用高精度环境补偿模块，解决温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响;使用激光热稳频控制系统，保证激光长期稳频精度;干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热变形，保证干涉光路稳定。具有实现线性、角度、直线度、垂直度等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等;同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度;并且可满足回转轴分度精度的测量。激光干涉仪具有极高的精度和效率，为机床误差修正提供依据。

激光干涉仪；光的干涉：光具有波粒二象性。两列或几列光波在空间相遇时相互迭加，在某些区域始终加强，在另一些区域则始终削弱，形成稳定的强弱分布的现象。产生稳定干涉的条件：只有两列光波的频率相同，位相差恒定，振动方向一致的相干光源，才能产生光的稳定干涉。由两个普通独特光源发出的光，不可能具有相同的频率，更不可能存在固定的相差，因此，不能产生稳定干涉现象。若光的振幅相等：相位角相同时，复合光强为原先的2倍，产生明条纹。当相位角相差180º（半个波长）时，复合光强为0，产生暗条纹。激光干涉仪的测量读数均与激光波长有关。浙江通用激光干涉仪

激光干涉仪选择哪个牌子比较好？显微式激光干涉仪加工设计

激光干涉仪的维护：仪器应妥善地放在干燥、清洁的房间内，防止振动，仪器搬动时，应托住底座，以防导轨变形。2、光学零件不用时，应存放在清洁的干燥盆内，以防止发霉。反光镜、分光镜一般不允许擦拭，必要擦拭时，须先用备件毛刷小心掸去灰尘，再用脱脂清洁棉花球滴上酒精混合液轻拭。传动部件应有良好的润滑。特别是导轨、丝杆、螺母与轴孔部分，应用T5精密仪表油润滑。使用时，各调整部位用力要适当，不要强旋、硬扳。导轨面丝杆应防止划伤、锈蚀，用毕后，仍保持不失油状态。显微式激光干涉仪加工设计