激光干涉仪
多功能激光干涉仪:主要适用于测量光脉冲、电脉冲以及磁脉冲的信号,如测量光强和电压随时间变化的波形。因为它的响应速度极快,是微微秒(Ps)量级。所以,它非常适用于超快变电场和超短光脉冲信号变化的测量。已有技术主要有两个方面。一是普通干涉仪,如一九八七年机械工业出版社出版的“剪切干涉仪及其应用”一书中描述的干涉仪,可用来做多样的测量工作,但它既不能像示波器一样示波显示电信号的波形,也不能示波显示光信号、磁信号的波形。虽然能示波显示电信号和光信号的波形,但不能示波显示其他如磁信号的波形等。而且,这些测量系统内不含有干涉系统。激光干涉仪的使用注意事项:各种仪器均不可受压、受冻、受潮或受高温,仪器箱不要靠近火炉或暖气管。激光干涉仪
双频激光干涉仪:在氦氖激光器上,加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应,激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。另一路经偏振分光镜后又分为两路:一路成为只含有f1的光束,另一路成为只含有f2的光束。当可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2±Δf的光束,Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的,即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。这路光束和由固定反射镜反射回来只含有f1的光的光束经偏振片2后会合成为f1-(f2±Δf)的测量光束。苏州激光干涉仪厂商激光干涉仪在相关软件的配合下,还可以对数控机床进行动态性能检测。
激光干涉仪使用环境:因为光学玻璃受热变形将产生光学表面光圈的变化,温度不稳定将直接影响测量精度的可靠性,所以激光干涉仪的使用对环境也有一定的要求:1、温度要求在20℃左右,湿度不大于60%。2、远离振动源,以免条纹产生抖动影响测量精度的判断。目前激光干涉仪已普遍地应用在光学加工企业、光学检测机构以及其他需要进行光学表面检测的场合,南京光研推出的一款激光干涉仪还具有体积小、重量轻、移动灵活的特点,用12v电源,其耗电量极低,干涉图像与对准系统同步、不需要切换,任何人都能简单操作,非常适合大批量快速检测。
激光干涉仪是精度比较高的线性位移测量仪器,其光波可以直接对米进行定义,可溯源至国家标准。但是我们在使用中往往会出现检测偏离值,偏离我们的预估,以至于在高精度检测时,对设备产生怀疑。因测量光学镜组的安装高度不在被测设备的运动轴上引起的测量误差称之为阿贝误差。产生的原因是设备移动时存在俯仰、扭摆差,因此光学镜组与运动轴偏置距离越远,引起的阿贝误差越大。环境补偿单元能准确采集空气温度、压力、相对湿度信息,基于Edlen公式计算空气折射率,以此对激光波长进行补偿。激光干涉仪,以激光波长为已知长度,利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。
利用激光干涉仪的线性测长功能,不但能够测量出数控机床的定位精度、重复定位精度和反向间隙等数据并对精度进行补偿。还能帮助我们利用检测图形和数据,来分析数控机床出现故障的原因及解决办法,从而迅速恢复机床,缩短数控机床维修时间,提高数控机床维修的效率。激光干涉仪是根据光学干涉基本原理设计而成的。具体到API激光干涉仪,即激光器射出单一频率波,当此光束抵达偏振分光镜时,会被分为两道光束(一道反射光束和一道投射光束),在这两道光射向其反光镜,然后透过分光镜反射回去,在激光头内的探测器形成一道干涉光束,若光程差没有任何变化,探测器会在每一次光程改变时,在相长性和相消性干涉的两极找到变动的信号。计算处理系统可以通过此变化来测量两光程间差异变化。激光干涉仪的应用:几何精度检测。苏州激光干涉仪厂商
激光干涉仪也是一种高精度位移传感器。激光干涉仪
虽然激光干涉仪安装组件比较齐全,但在实际使用过程中还是需要另外配置一些辅助工具:研制低高度云台支架。部分机床工作台高度与地面是基本相平的,那么测量Z轴时,如果使用激光干涉仪原装三角架及云台安放激光器于地面,则肯定会因为三角架本身的高度,损失测量范围。磁性表座是激光干涉仪常用的辅助工具,选择时需要注意,表座工作面上需有螺孔以配合安装镜组安装杆,主磁性吸面位于底面和侧面的表座各选择两个(实验室或工厂多采用的是主磁性吸面位于底面的表座),在测量时,往往侧面吸的表座更利于激光干涉仪镜组的安装。激光干涉仪
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