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时间:2024年10月15日 来源:

所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。本实用新型一种实施方式的真空反应腔室,其结构如图1和图2所示,包括:用于提供真空环境的外腔体10,以及位于所述外腔体10内的用于进行工艺反应的内反应腔20;所述内反应腔20的侧壁上设有自动门23,所述自动门23连接自动门控制器,工件自所述外腔体10经所述自动门23进入所述内反应腔20中。本实施方式提供的真空反应腔室,外腔室和内反应腔20为嵌套结构,其内反应腔20位于外腔室内。该结构中,相当于设置了两个腔室,其中外腔体10用于隔绝大气,提供真空环境,而内反应腔20中的区域为工艺反应区,形成相对封闭的工艺环境,相关工艺反应在内反应腔20中进行。由于采用双腔室结构,可以将工艺模块部件设置于内反应腔20中,而与工艺反应无直接关系的机械模块部件则被设置于外腔室中。经抽真空处理后,位于外腔体10中的工件再经自动门23进入内反应腔20中进行工艺反应,可以有效避免设备杂质和工件杂质进入内反应腔20中。该结构可以避免工艺环境外的污染源进入工艺反应区域。宝来利真空镀膜机性能稳定,膜层均匀耐磨,钛铝,有需要可以咨询!上海AR真空镀膜机推荐货源

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进一步地,所述第二底板内和所述第二侧壁内均设有用于穿设温控管的通道,所述温控管埋设于所述通道内。一种真空镀膜设备,包括机械模块部件、工艺模块部件和本实用新型所述的真空反应腔室,所述工艺模块部件位于所述内反应腔内,部分所述机械模块部件位于所述外腔体内。本实用新型实施例提供的上述技术方案与现有技术相比具有如下***:本实用新型提供的真空反应腔室,包括用于提供真空环境的外腔体,以及位于所述外腔体内的用于进行工艺反应的内反应腔;并且,内反应腔的侧壁上设有自动门,工件自外腔体经自动门进入内反应腔中。其中,外腔室和内反应腔为嵌套结构,其内反应腔位于外腔室内。该结构中,相当于设置了两个腔室,其中外腔体用于提供真空环境,而工艺反应则在内反应腔中进行。由于采用双腔室结构,可以将工艺模块部件设置于内反应腔中,而与工艺反应无直接关系的机械模块部件则被设置于外腔室中。经抽真空处理后,位于外腔体中的工件再经自动门进入内反应腔中进行工艺反应,可以有效避免设备杂质和工件杂质进入内反应腔中。该结构可以避免工艺环境外的污染源进入工艺反应区域,避免工艺污染,提供工艺质量。由于设置双腔室,作为工艺反应区的内反应腔相对较小。

还可以根据这些附图获得其他附图:图1为本实施例中一种真空镀膜设备的主视示意图;图2为本实施例中图1中a处的放大示意图;图3为本实施例中图1中b处的放大示意图;图4为本实施例中顶盖的结构示意图。具体实施方式为了使本实用新型实施例的目的、技术方案和***更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述,显然,所描述的实施例是本实用新型的部分实施例,而不是全部实施例。基于本实用新型的实施例,本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型的保护范围。本实用新型较佳实施例的如图1和图2所示,构造一种真空镀膜设备,包括镀膜机1;镀膜机1底部设有出气管11;出气管11上设有宝来利真空连接套12;宝来利真空连接套12上设有第二连接套2;第二连接套2中设有顶盖22,顶盖22与宝来利真空连接套12之间通过磁吸连接;第二连接套2远离镀膜机1一侧设有抽气管3;抽气管3远离第二连接套2一侧设有真空泵4;抽气管3内靠近真空泵4一侧设有宝来利真空过滤网41;抽气管3远离镀膜机1一侧设有沉降组件;在抽真空时,按下开关13,启动真空泵4,电磁铁122通电产生与磁片223相同的磁性,利用磁铁的原理。宝来利真空镀膜机性能稳定,膜层均匀耐磨,货架镀膜,有需要可以咨询!

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以及位于所述外腔体内的用于进行工艺反应的内反应腔;所述内反应腔的侧壁上设有自动门,所述自动门连接自动门控制器,工件自所述外腔体经所述自动门进入所述内反应腔中。进一步地,所述外腔体包括宝来利真空底板和沿所述宝来利真空底板周向设置的宝来利真空侧壁;所述内反应腔包括第二底板和沿所述第二底板周向设置的第二侧壁;所述宝来利真空底板与所述第二底板相互分离设置,所述宝来利真空侧壁与所述第二侧壁相互分离设置;所述宝来利真空侧壁与盖设于所述宝来利真空侧壁上的密封盖板密闭连接,所述第二侧壁与所述密封盖板相互分离设置。进一步地,所述自动门设置于所述第二侧壁上,所述外腔体内设有传送装置,所述工件自所述传送装置经所述自动门传递至所述内反应腔中。进一步地,所述第二底板和/或所述第二侧壁上设有用于对所述内反应腔进行控温的温控装置。进一步地,所述温控装置包括温控管,所述温控管连接位于外腔体外的恒温控制器。进一步地,所述温控管包括加热管和/或冷却管。进一步地,所述加热管包括电加热管、水加热管或油加热管;所述冷却管包括水冷却管或油冷却管。进一步地,所述温控管缠绕于所述第二侧壁的外部,且所述温控管铺设于所述第二底板的底部。宝来利真空镀膜机性能稳定,膜层均匀耐磨,细腻有光泽,有需要可以来咨询!上海刀具真空镀膜机定制

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真空环境优化:保持高真空度的镀膜环境,减少气体碰撞和扩散,提高蒸发材料的蒸发速度。定期维护真空系统,确保其性能和密封性,避免因真空不足导致的镀膜质量下降。实时监测与反馈:在镀膜过程中实施实时监测,包括膜层厚度、光学性能等参数的测量,确保镀膜质量符合预设标准。根据实时监测结果及时调整工艺参数,实现镀膜质量的实时反馈和优化。设备维护与升级:定期对真空镀膜机进行维护,确保设备的稳定运行和长期可靠性。根据技术进步和应用需求,对真空镀膜机进行升级,如更换更高性能的蒸发源、优化设备结构等,以提高镀膜效率和质量。操作人员培训与经验积累:对操作人员进行专业培训,提高其操作技能和安全意识。积累镀膜经验,总结成功和失败的案例,不断优化镀膜工艺和参数。上海AR真空镀膜机推荐货源

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