光刻机隔振台电子显微镜TEM
AVI600-M
AVI 600-M的基本配置包括两个紧凑型单元和一个控制单元，比较大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量，可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI600-S适应用户特定的应用，可以使用不同长度的紧凑型装置。
AVI 600-M的隔离始于1,2 Hz，超过10HZ以上迅速增加至35 db
减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能
AVI 600-M系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性
AVI 600-M的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式
AVI 600-M紧凑型设备不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单，友好的处理概念-从而避免在设备上放置沉重的设备（例如SEM）时进行任何复杂的操作。
技术指标：
频率： 1.2-200 Hz
负载范围： 0-1200公斤
（单件）： 600公斤 Table Stable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统，具有**的防振单元和控制器。光刻机隔振台电子显微镜TEM
LFS
LFS传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度，直到频率约为0.2Hz。该传感器直接放置在地板上，并与标准AVI / LP系统结合使用在前馈环路中，以提高非常低频率的振动隔离。LFS可以改装为现有的AVI-LP系统。
LFS-3的设计、制造和测试均符合测量和控制设备的安全规定，并满足EEC指令73/23的相关要求。系统符合EEC指令89/336（电磁兼容性）
每个单独的AVI元件必须连接到传感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的实际位置并不重要，但它当然必须放置在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上D-Sub 15插座（诊断插座）连接到传感器。 主动隔振台学校会用吗Herz授权岱美仪器代理其生产的隔振台含AVI和TS系列。
AVI600-S
AVI 600-S的基本配置包括两个紧凑型单元和一个控制单元，比较大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量，可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI
600-S适应用户特定的应用，可以使用不同长度的紧凑型装置。
AVI 600-S的隔离始于1,2 Hz，超过10HZ以上迅速增加至35 db
减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能
AVI 600-S系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性
AVI 600-S的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式
AVI 600-S紧凑型设备不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单，友好的处理概念-从而避免在设备上放置沉重的设备（例如SEM）时进行任何复杂的操作。
技术指标：
频率： 1.2-200 Hz
负载范围： 0-1200公斤
（单个）： 600公斤
AVI400-S
AVI 400-S的基本配置包括两个紧凑型单元和一个控制单元，比较大负载为800公斤。通过增加紧凑型模块的数量，可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI400-S适应用户特定的应用，可以使用不同长度的紧凑型装置。
AVI 400-S的隔离始于1,2 Hz，超过10HZ以上迅速增加至35 db
减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能
AVI 400-S系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性
AVI 400-S的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式
AVI 400-S紧凑型装置不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单，友好的概念-因此，在装置上放置沉重的设备（例如SEM）时，避免了任何复杂的过程。
技术指标：
频率： 1,2-200 Hz
负载范围： 0-800公斤
（单个）： 400公斤 AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪等提供极好的隔振效果。
AVI 200-XL
AVI 200-XL的基本配置包括两个单独的承载模块和一个控制单元，比较大可承载400公斤重量。通过增加隔振模块的数量，可以轻松承受更大的负载。为了使AVI200-M适应用户特定的应用，可以按特殊顺序提供不同长度的单个元件。
AVI 200-XL的隔离始于1,2 Hz，然后迅速增加至超过10Hz的35dB
减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能
AVI 200-XL系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性
AVI 200-XL的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式
AVI 200-XL隔振模块不需要任何大型工具即可安装。我们努力提供一种简单，友好的概念-避免在安装出现中比较复杂的过程。 测振传感器不断监测振动，制动器根据这些信号产生反向力，以保持比较好的隔振状态。压电陶瓷技术隔振台应用
LFS和AVI元件所在的支承面必须尽可能坚硬，以便在附近移动时不会明显倾斜。光刻机隔振台电子显微镜TEM
AVI-产品参数：AVI-200系列（负载：**多800kg）
型号：AVI-200SLP，AVI-200MLP，AVI-200XLP
系统形状：控制器与防振单元分离型
主动控制范围：被动隔振范围200Hz以上
确认防振状态：使用控制器背面的BNC连接器，外部连接前面的8个LED指示防振状态
尺寸：120×396×130×636×130×856×
控制器尺寸：241×287×142毫米
承重：400kg
单位重量：约9kg
联络我们
电源电压：95-240VAC50-60赫兹
耗电量：普通9W
工作温度范围：5℃〜40℃
工作湿度范围：10〜90％（5〜30℃）・10〜60％（30〜40℃）
可选零件（1）装载板，石板，铸铁板*另行咨询选装（2）高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询。 光刻机隔振台电子显微镜TEM
岱美仪器技术服务（上海）有限公司致力于仪器仪表，以科技创新实现***管理的追求。岱美中国深耕行业多年，始终以客户的需求为向导，为客户提供***的半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪。岱美中国致力于把技术上的创新展现成对用户产品上的贴心，为用户带来良好体验。岱美中国始终关注仪器仪表行业。满足市场需求，提高产品价值，是我们前行的力量。