晶圆片隔振台样机试用
传感器位置
传感器可以移动到任何期望的位置。 它可能位于负载下方或外部，但必须位于支持AVI元素的同一表面上。 制作后连接时，传感器与AVI单元的方向必须保持不变。
支撑面的刚性
支撑表面的刚性很重要。 水平传感器无法区分在水平加速度和倾斜之间。 LFS和因此，AVI元素所在的位置必须尽可能坚硬，以使其不会明显倾斜当人们在附近移动时。 倾斜会导致传感器输出饱和并失去隔离。
运作方式
设置好并将电源连接到传感器后，就可以使用系统了。按下电源上的电源旋钮打开电源。 绿色LED将点亮。 红色LED开始闪烁，这意味着存在一些振动。现在，您可以通过按启用按钮来启用系统。 红色LED不应点亮了。 如果它们点亮，则表示系统过载且振动建筑物中存在的物体太严重。
请注意，如果未启用LFS，则它将无效。
敏感的传感器单元，请勿撞击，敲打或跌落！
Herz 防震台/防振台是世界上****的防震台/防振台系统方案供应商之一。 在纳米技术的时代，极之微细的振动已对搜索结果造成极大的影响，必须改善测量环境，以发挥仪器的极大效能，达到比较好成果。 Nanotechnology正在改变，由高层次的研究波及各个行业的基本生产，要有效地发展纳米技术，消除振动尤为重要！
在过去的40年，HERZ发展成为被动式隔振设备的领头供应商，并在此领域积累了丰富的经验。与此同时，测量技术有了很大的进步，一些**灵敏的设备会受被动式隔振系统中低频共振频率的干扰，只有主动式隔振系统能消除此类干扰。因此，HERZ在被动式隔振系统产品之外，补充了由瑞士Table Stable Ltd.开发的先进主动式隔振系统。 晶圆片隔振台样机试用AVI 400-M紧凑型装置不需要任何大型安装工具。
1.更换SEM侧面板（如有必要）。检查隔离系统和SEM的所有电缆是否松动连接。 检查并确保没有将SEM耦合到地面或其他振动源。
2.将电源线插入控制器背面。
翻转前面板上的“ ON”开关。 按红色按钮启用活动隔离。
3.几秒钟后，使能LED指示灯将变稳定，指示系统已正确隔离。 轻轻敲击SEM时，控制器上的红灯应短暂点亮然后熄灭。
4.如果一个或多个指示灯持续亮起，或者在正常情况下指示灯不熄灭，或者如果点击不亮，则表明传感器过载。
请仔细检查以下内容：没有任何东西触及模块，连接模块和SEM的所有电缆均松弛，并且已针对负载适当调整了模块。
使用说明书
解锁系统后，将设备放置在平坦且坚固的桌子上或地下。
调整负载补偿:
将负载放在**上面，并使用以下三个调整负载补偿侧面的车轮到外壳和顶板之间的距离为2mm。
沿+方向旋转轮子以增加负载补偿方向旋转车轮以减少负载补偿
按下并检查每个角是否有约0.5mm的自由移动。轻轻地上下拉顶板！
更改负载后，检查每个角是否自由移动！
将电源插头连接到背面的输入电源插座。
按下背面的电源按钮打开设备“ POWER” LED将点亮，而“ ACTIVE” LED开始闪烁。
大约30秒钟后，“活动” LED将保持点亮状态，并且系统现在可以使用了。
您可以通过按“启用”按钮来打开和关闭活动隔离。
TS-140的高度*为84毫米。
AVI400-S
AVI 400-S的基本配置包括两个紧凑型单元和一个控制单元，比较大负载为800公斤。通过增加紧凑型模块的数量，可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI400-S适应用户特定的应用，可以使用不同长度的紧凑型装置。
AVI 400-S的隔离始于1,2 Hz，超过10HZ以上迅速增加至35 db
减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能
AVI 400-S系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性
AVI 400-S的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式
AVI 400-S紧凑型装置不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单，友好的概念-因此，在装置上放置沉重的设备（例如SEM）时，避免了任何复杂的过程。
技术指标：
频率： 1,2-200 Hz
负载范围： 0-800公斤
（单个）： 400公斤 使用压电力马达的惯性反馈不仅可以隔离建筑物的振动，还可以隔离放置在系统本身上的振动源。晶圆片隔振台样机试用
LFS和AVI元件所在的支承面必须尽可能坚硬，以便在附近移动时不会明显倾斜。晶圆片隔振台样机试用
TS-150安全守则
只能将系统插入具有单独接地的插座。 不要断开此连接通过插座或使用不接地的延长线接地。
在打开本设备之前，请确保已将其连接到正确的电源电压。
请勿卸下任何盖子或让任何金属物体进入设备的任何开口。
请勿拆卸或尝试维修系统。 这可能会导致电击或损坏到系统。
卸下任何主机盖之前，请先断开电源。 请把维修交给合格的人员。
请勿在有危险的环境中使用。
请勿在顶板上钻任何孔。 这会损坏系统。
如果您怀疑系统有任何不安全之处，请拔下电源插头并防止可能发生的意外事 故用法。 请与您**近的服务中心联系。
晶圆片隔振台样机试用
岱美仪器技术服务（上海）有限公司是一家磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理（拍卖除外）及其相关配套服务，国际贸易、转口贸易，商务信息咨询服务 的公司，致力于发展为创新务实、诚实可信的企业。岱美中国拥有一支经验丰富、技术创新的专业研发团队，以高度的专注和执着为客户提供半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪。岱美中国继续坚定不移地走高质量发展道路，既要实现基本面稳定增长，又要聚焦关键领域，实现转型再突破。岱美中国创始人陈玲玲，始终关注客户，创新科技，竭诚为客户提供良好的服务。