实验室隔振台用途

时间:2020年11月07日 来源:

AVI600-S

AVI 600-S的基本配置包括两个紧凑型单元和一个控制单元,比较大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量,可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI

600-S适应用户特定的应用,可以使用不同长度的紧凑型装置。


AVI 600-S的隔离始于1,2 Hz,超过10HZ以上迅速增加至35 db

减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能

AVI 600-S系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性

AVI 600-S的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式

AVI 600-S紧凑型设备不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单,友好的处理概念-从而避免在设备上放置沉重的设备(例如SEM)时进行任何复杂的操作。


技术指标:

频率:  1.2-200 Hz

负载范围:  0-1200公斤

(单个): 600公斤 HERZ在被动式隔振系统产品之外,补充了由瑞士Table Stable Ltd.开发的先进主动式隔振系统。实验室隔振台用途

实验室隔振台用途,隔振台

1、使用2 mm内六角扳手(包括在内)拆下模块端板。

2、根据扫描电镜的重量调整模块。

在每个中心柱上的横梁上方和下方应该有一个间隙,允许每侧大约有2mm的行程。

B、使用M6活动扳手(包括)转动位于支撑弹簧顶部的调整螺母。向右转动扳手可降低模块并增加上部间隙(在**止动螺母和横撑之间)。向左转动扳手可升高模块并减小上部间隙。

C、计算每个螺母的圈数;尽可能均匀地调整所有螺母。并非所有中心柱上的间隙都完全相同。

D、不要转动螺母太远,否则可能损坏系统。在任何情况下,外露螺纹不得超过10mm

3.装回模块上的端板 研究所隔振台质保期多久AVI 200-XL系统固有的刚性使得其有出色的方向性和位置稳定性。

实验室隔振台用途,隔振台

TS-300

TS系列产品中比较大的系列,比TS-140 / TS-150更大。

在公制(M6 x 25mm)或非公制网格上钻孔的顶板可将各种设备安装在隔离的桌面上。


 频率

 负载范围TS-300

 负载范围TS-300LT

 尺寸图 

 0,7-1000赫兹

 0-300公斤

 0-120公斤

 600

 x 800 x 120毫米

 

TS-300结合了久经考验的技术***性和优雅且用户友好的设计

TS-300的隔离始于0.7 Hz,超过10Hz时迅速增加至40dB

缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多

TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性

TS-300的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式

精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平

遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”

使用说明书

解锁系统后,将设备放置在平坦且坚固的桌子上或地下。

调整负载补偿:

将负载放在**上面,并使用以下三个调整负载补偿侧面的车轮到外壳和顶板之间的距离为2mm。

沿+方向旋转轮子以增加负载补偿方向旋转车轮以减少负载补偿

按下并检查每个角是否有约0.5mm的自由移动。轻轻地上下拉顶板!

更改负载后,检查每个角是否自由移动!

将电源插头连接到背面的输入电源插座。

按下背面的电源按钮打开设备“ POWER” LED将点亮,而“ ACTIVE” LED开始闪烁。

大约30秒钟后,“活动” LED将保持点亮状态,并且系统现在可以使用了。

您可以通过按“启用”按钮来打开和关闭活动隔离。


简单,用户友好的处理概念-避免在安装过程中进行复杂的过程。

实验室隔振台用途,隔振台

LFS-2传感器测量两个轴的水平加速度,直至频率为约0.2Hz 传感器直接放置在地板上,并用于前馈回路中与标准AVI / LP系统结合使用,可在非常低的情况下提高隔振效果频率。 LFS-2可以改装为现有的AVI-LP系统。下表显示了在AVI / LP上测得的水平隔离度(透射率)有和没有LFS的系统。


将传感器连接到AVI /系统?

传感器LFS-2具有单独的电源,该电源通过D-Sub25插座连接到LFS-2控制单元。 用D-Sub 25将电源连接到传感器电缆。

每个AVI元素必须连接到背面的D-Sub15插座之一传感器的 LFS的实际位置并不重要,但必须放置它在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上部D-Sub 15插座连接到传感器。


LFS和AVI元件所在的支承面必须尽可能坚硬,以便在附近移动时不会明显倾斜。实验室隔振台用途

TS-140的高度*为84毫米。实验室隔振台用途

1.更换SEM侧面板(如有必要)。检查隔离系统和SEM的所有电缆是否松动连接。 检查并确保没有将SEM耦合到地面或其他振动源。

2.将电源线插入控制器背面。

翻转前面板上的“ ON”开关。 按红色按钮启用活动隔离。

3.几秒钟后,使能LED指示灯将变稳定,指示系统已正确隔离。 轻轻敲击SEM时,控制器上的红灯应短暂点亮然后熄灭。

4.如果一个或多个指示灯持续亮起,或者在正常情况下指示灯不熄灭,或者如果点击不亮,则表明传感器过载。

请仔细检查以下内容:没有任何东西触及模块,连接模块和SEM的所有电缆均松弛,并且已针对负载适当调整了模块。 实验室隔振台用途

岱美仪器技术服务(上海)有限公司致力于仪器仪表,是一家贸易型的公司。公司业务分为半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪等,目前不断进行创新和服务改进,为客户提供良好的产品和服务。公司从事仪器仪表多年,有着创新的设计、强大的技术,还有一批**的专业化的队伍,确保为客户提供良好的产品及服务。在社会各界的鼎力支持下,持续创新,不断铸造***服务体验,为客户成功提供坚实有力的支持。

信息来源于互联网 本站不为信息真实性负责