高性能高效高温无氧烘箱快速升温和降温

DTN430C/630C/450C/650C洁净厌氧高温气氛炉(YAMATO)

洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉，主要应用于固化半导体晶圆等。

特点

● MAX工作温度360℃和500℃、洁净度100级、氧浓度低于20ppm，主要应用于固化半导体晶圆（光刻胶PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。

● 采用耐热高性能高效过滤器，箱内洁净度始终保持在100级，可在洁净的环境下进行高温烘烤。

● 高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2消耗量极低。

● 通过磁密封保持高气密性，并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。

● 可实现快速升温和降温，升降温速率可调节。

● 标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收。

● 液晶触摸屏操作，自动/手动两种运行模式。

安全性

● 拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电保护开关等安装装置。 固化聚酰亚胺（PI）选择YAMATO光刻胶烤箱。高性能高效高温无氧烘箱快速升温和降温

高温无氧烘箱箱体结构

       1、烘箱由箱体部分、电器控制柜部分、电加热及风道系统部分组装而成，结构合理，外观美观大方；

       2、全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘；

       3、箱体材料：外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止微尘；

       4、内胆材料：1.5厚度 SUS304#不锈钢；

       5、 保温材料：硅酸铝棉，保温层厚度100mm；

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烘箱安装要求及检查调整

1、安置地点要求：

①地面须水平

②通风须良好，落尘量较少

③不要放置在潮湿地方

④不要暴露在易燃或腐蚀性气体下（特殊烤箱除外）

⑤尽可能使可燃物远离

⑥环境温度匆过高

2、安置间隔要求：

①理想操作环境机身各方距墙60公分以上

②理想操作环境机身与机身间隔60公分以上

3、电源安装要求：

①请依电器铭板上所订之电源规格接电

②电压变动率必须在额定值±5%内

③为避免电击意外发生，机台本身必须接地（依电工法规第三种接地法实施对地电阻100Ω以下）

④不可将有漏电断路器烤箱与无此装置烤箱共用接线线路

4、水平调整：

①机台定位后，须调整水平

5、电源接线：

机台定位完成后，可由机台后方电源电缆线，并依接线端子板上之标示规格完成电源接线之工作

6、送风马达调整

DTN650C洁净厌氧高温气氛炉 相关参数及规格(YAMATO)

规格：

①内尺寸（宽×深×高mm）：660×500×660

②外形尺寸（宽×深×高mm）：1450×1060×1960

③内容积：216L

④棚板层数/层间距：19层/30mm

⑤排气口：40KF法兰

⑥氮气入口：Rc1/2

⑦冷却水入口：Rc3/4

⑧热水出口：Rc3/4，2个

⑨电源（50/60Hz）额定电流：3相AC380V 27A

⑩重量：约1100kg

选购品：棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯（待机/ 运行/ 故障）、以太网通信功能

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无氧化烘箱的安全操作规程

       无氧化烘箱是一种新型厌氧电热真空干燥箱设备，其通过氮气孔注入氮气挤出箱内空气再加热从而形成真空无氧化环境下高温干燥的要求。我们来看看他的安全操作规程：

       1、无氧化烘箱通电前应检查电源线路绝缘应良好，不准有漏电。加热器电阻丝之间不得有碰触，以防短路。

       2、无氧化烘箱通电前应打开排气阀门。

       3、使用非防爆电烘箱，严禁带挥发性的物件进入烘箱内。

       4、随时观察并调整箱内温度，应符合烘件工艺要求的温度。

       5、无氧化烘箱要保持烘箱内清洁，检查和擦除烘箱内电阻丝旁的氧化皮。

       6、切断电源，关闭烘门。

  以上便是关于无氧化烘箱的的安全操作规程的分享了，希望对大家今后使用本设备能有帮助。

气氛炉禁止将潮湿工件装入炉膛内，含有过高水份的被加热工件应预先烘干。高性能高效高温无氧烘箱快速升温和降温

工业烤箱节能省电方法

1、工业烤箱采用适当的加热功率，任何系统都有一个热平衡问题，以适当的加热功率获取大的加热效果，

2、总加热功率越低越省电。显然如加热功率太低，加热时间延长，不但省不了电，反而增加生产时间，造成单位时间产晨低，增加其他成本。加热功率越大，加热越快，越省电。显然，加热功率太大，加热太快，局部温差大，损耗更大，也不省电。

3、根据不同的使用条件，工业烤箱采用不同的加热方式，以提高加热效率。

4、采用高效保温材料（比普通石棉提高60%的绝热材料），以减少能量损耗。

5、工业烤箱根据不同的烘烤过程，自动变换烘烤温度，可以节能。

6、适当的加热功率才是省电的。任何系统都有大值和小值问题，我们能根据客户的生产工艺条件设计不同类型的加热控制系统，保证大的电能使用效率才能省电。 高性能高效高温无氧烘箱快速升温和降温