湖北半导体隔振台

AVI-产品参数：AVI-200系列（负载：**多800kg）

型号：AVI-200SLP，AVI-200MLP，AVI-200XLP

系统形状：控制器与防振单元分离型

主动控制范围：被动隔振范围200Hz以上

确认防振状态：使用控制器背面的BNC连接器，外部连接前面的8个LED指示防振状态

尺寸：120×396×130×636×130×856×

控制器尺寸：241×287×142毫米

承重：400kg

单位重量：约9kg

联络我们

电源电压：95-240VAC50-60赫兹

耗电量：普通9W

工作温度范围：5℃〜40℃

工作湿度范围：10〜90％（5〜30℃）・10〜60％（30〜40℃）

可选零件（1）装载板，石板，铸铁板*另行咨询选装（2）高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询。 安置好后只需简单地调节弹簧即可使用。湖北半导体隔振台

所有控制电路都内置在该单元**耗小于2.5W。该设备具有通用输入，可以连接到100至240 VAC的任何交流电源。优化设计以实现对诸如扫描探针显微镜（AFM， STM），干涉仪和其他高 分辨率仪器，从而使这些仪器能够达到**终的性能。事实证明，该表在支持灵敏实验（例如膜片钳，显微注射或用于测量Langmuir-Blodgett膜的液体的槽）方面非常成功。

技术指标：

频率：1.2-300赫兹

负载范围：0-40公斤

尺寸图            300x 300 x 70毫米（长x宽x高）

 11.8x 11.8 x 2.75英寸

 隔离：动态1.2Hz至300Hz，主要在较高频率下为无源

透射率：

高于〜10 Hz的透射率<0.01（-40 dB）

矫正力：垂直±8N，水平±4N

静态合规性：27 µm / N

比较大负载（中心负载）：40公斤88.18磅

重量：9.2公斤20.3磅

湖北半导体隔振台传感器可以移动到任何所需位置。

TS-140

TS-140结合了久经考验的技术特点与优雅且对用户友好的设计

这种中型动态隔振系统非常适合所有需要顶板上空间比TS-150更大的应用。

在公制（M6 x 25mm）或非公制网格上钻孔的顶板可将各种设备安装在隔离的桌面上。

TS-140结合了久经考验的技术特点与优雅且用户友好的设计

TS-140的隔离始于0.7 Hz，超过10Hz时迅速增加至40db

缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多

TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性

TS 140的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式

精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平

遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”

用户友好，实用的操作优势是创新建筑理念的结果

TS-140的高度*为84毫米

TS 140的重量*为28.5千克

1.更换SEM侧面板（如有必要）。检查隔离系统和SEM的所有电缆是否松动连接。 检查并确保没有将SEM耦合到地面或其他振动源。

2.将电源线插入控制器背面。

翻转前面板上的“ ON”开关。 按红色按钮启用活动隔离。

3.几秒钟后，使能LED指示灯将变稳定，指示系统已正确隔离。 轻轻敲击SEM时，控制器上的红灯应短暂点亮然后熄灭。

4.如果一个或多个指示灯持续亮起，或者在正常情况下指示灯不熄灭，或者如果点击不亮，则表明传感器过载。

请仔细检查以下内容：没有任何东西触及模块，连接模块和SEM的所有电缆均松弛，并且已针对负载适当调整了模块。 AVI 的隔振性能在负载低于 30Hz 以下时是一个重要的参照。

LFS控制单元上的每个D-Sub15插座都有4个对应于AVI元件的开关输出，这些AVI元件以任意4个矩形方向（即平行或直角）放置，不允许其他方向。

面向LFS传感器的蓝色LED直立。将***个AVI元件连接到后面板上的12个D-Sub15插座中的任何一个。使用笔在位置A和D之间滑动开关。

传感器的位置:

传感器可以移动到任何所需位置。它可能位于负载下方或外部，但必须位于支持AVI元件的同一表面上。连接后，传感器与AVI单元的方向必须保持不变。

支承面刚度:

支承面的刚度很重要。水平传感器无法区分水平加速度和倾斜。因此，LFS和AVI元件所在的支承面必须尽可能坚硬，以便在附近移动时不会明显倾斜。倾斜将导致传感器输出饱和，隔离将失效。 AVI 200-XL系统固有的刚性使得其有出色的方向性和位置稳定性。湖北半导体隔振台

振动分析系统VA-2C是带有远程测量头的系统，可轻松测量三个正交方向上的加速度，速度或位移。湖北半导体隔振台

TS-150

TS-150结合了久经考验的技术特点和优雅且用户友好的设计

TS 150的隔离频率始于0.7 Hz，超过10Hz时迅速增加至40db

缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多

TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性

TS 150的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式

精确的**于载荷的自动高度调节机构即使在载荷发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平

遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”

频率：0,7-1000 Hz

负载范围：0-150公斤

尺寸 ：400 x 450 x 78.5 毫米

TS-150结合了久经考验的技术***性和优雅且用户友好的设计。TS 150的隔离频率始于0.7 Hz，超过10Hz时迅速增加至40db缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多。

TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性。TS 150的出色性能包括所有六个平移和旋转振动模式精确的**于载荷的自动高度调节机构即使在载荷发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平。遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”用户友好，实用的操作优势是创新建筑理念的结果。

TS-150的高度*为78.5毫米

TS-150的重量*为17.5千克 湖北半导体隔振台

岱美仪器技术服务（上海）有限公司专注技术创新和产品研发，发展规模团队不断壮大。公司目前拥有较多的高技术人才，以不断增强企业重点竞争力，加快企业技术创新，实现稳健生产经营。公司业务范围主要包括：半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪等。公司奉行顾客至上、质量为本的经营宗旨，深受客户好评。公司深耕半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪，正积蓄着更大的能量，向更广阔的空间、更宽泛的领域拓展。