高精密仪器隔振台自动化测量

时间:2020年12月04日 来源:

AVI600-M

AVI 600-M的基本配置包括两个紧凑型单元和一个控制单元,比较大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量,可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI600-S适应用户特定的应用,可以使用不同长度的紧凑型装置。


AVI 600-M的隔离始于1,2 Hz,超过10HZ以上迅速增加至35 db

减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能

AVI 600-M系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性

AVI 600-M的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式


AVI 600-M紧凑型设备不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单,友好的处理概念-从而避免在设备上放置沉重的设备(例如SEM)时进行任何复杂的操作。


技术指标:

频率:  1.2-200 Hz

负载范围:  0-1200公斤

(单件):  600公斤 振动分析系统VA-2C是带有远程测量头的系统,可轻松测量三个正交方向上的加速度,速度或位移。高精密仪器隔振台自动化测量

高精密仪器隔振台自动化测量,隔振台

TS-C

TS-C系列是紧凑的动态防振系统,可隔离所有六个平移和旋转振动模式。

这些价格适中的动态振动隔离系统在体积上却比比较大,**昂贵的无源系统更好地实现了隔离。使用压电力马达的惯性反馈不仅可以隔离建筑物的振动,还可以隔离放置在系统本身上的振动源。例如,这意味着即使通过操作员的手施加了力,由系统隔离的精密显微镜也将保持静止。


该系统的固有刚度比1Hz谐振无源隔离器的固有刚度大25倍,可提供出色的方向和位置稳定性。

有源隔离系统的特性通常表现为几乎没有低频共振,这种共振困扰着所有无源隔离系统。


该系统的设计即使在低至2-3

Hz的频率下也能提供出色的隔离度,在该频率下,许多建筑物由于绕垂直轴的振荡而显示出较大的水平振幅。隔离从大约0.7Hz开始,并迅速增加到至少10Hz以外的至少40 dB。 晶圆隔振台参数实际测量的振动结果:AVI 主动隔振频率范围在 1.0Hz 到 200Hz之间。

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AVI

400-XL

AVI 400-XL的基本配置包括两个紧凑型隔振模块和一个控制单元,比较大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量,可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI400-M适应用户特定的应用,可以使用不同长度的紧凑型装置。


AVI 400-XL的隔离始于1,2 Hz,超过10HZ以上迅速增加至35 db

减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能

AVI 400-XL系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性

AVI 400-XL的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式

AVI 400-XL紧凑型装置不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单,友好的概念-因此,在装置上放置沉重的设备(例如SEM)时,避免了任何复杂的过程。


技术指标:

频率: 1.2-200 Hz

负载范围: 0-800公斤

(单个):  400公斤

AVI-600系列(负载:1200kg)

型号:AVI-600SLP,AVI-600MLP,AVI-600XLP

形状:控制器与防振单元分离型

主动控制范围:被动隔振范围200Hz以上

确认防振状态:使用控制器背面的BNC连接器,外部连接,前面的8个LED指示防振状态

单位尺寸:288×396×288×720×318×856×

控制器尺寸;448x286x143毫米

承重:1200kg(相等)

单位重量:约20kg,约26kg,联络我们

电源电压:95-240VAC,50-60赫兹

耗电量:正常27W
工作温度范围:5℃〜40℃

工作湿度范围:10〜90%(5〜30℃)・10〜60%(30〜40℃)

可选零件(1)装载板,石板,铸铁板*另行咨询。

选装(2)高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询


TS-140的高度*为84毫米。

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TS特点:

◎在全部的6个自由度范围内,从0.7Hz到100Hz,TS系列产品提供优良的主动隔振性能。

◎当仪器装载时,高度调整会自动进行。

◎即使当负载偏离中心时,自动调平功能也能保持水准。当高重心的仪器被加载时,给予稳定性。

◎通过按下前方的按钮,系统可以锁定或者解锁。锁定功能可以防止在系统重新加载或传输中发生损坏。

◎前方的显示屏展示了在X,Y和Z方向的实际振动水平。

◎主动隔振也可以通过使用可选的远程控制箱来从外部启用或禁用 励磁箱允许将激励信号施加到TS隔离系统,以便该系统可以在任何方向上用作振动器。氮化镓隔振台测样

使用压电力马达的惯性反馈不仅可以隔离建筑物的振动,还可以隔离放置在系统本身上的振动源。高精密仪器隔振台自动化测量

***使用AVI系统时,将前面板隔离开关设置为关闭(黑色旋钮熄灭)。打开电源。电源指示灯现在将点亮,16个显示LED将短暂闪烁。黄色启用LED将在约2Hz时闪烁。如果出现剧烈振动或把手放在桌面上,部分或全部LED将闪烁。打开电源约30秒后,您可以将隔离开关推到打开位置(黑色旋钮进入)。黄色LED现在将一直亮起,表示系统正在隔离。

把手轻轻地放在桌面上。可能会有一个或多个LED亮起,表示过载。了解在不造成过载的情况下可以施加多少力。 高精密仪器隔振台自动化测量

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