上海SDE1220干式真空泵
樫山真空集中了经半导体，液晶行业等所研发的技术，针对一般工业应用
开发了长时间运行也不会发生性能退化的小型空冷干泵NeoDry系列。
Ⅱ，特 征
ⅰ） 采用多段ROOTS方式 （抽气部分为非物理性接触构造），
不会因长时间的运行导致设备性能下降。
ⅱ） 保养周期长，因需更换的零件少，可降低后期保养费用。
iii ) 通过选购气镇阀，使设备具有水汽排气性能。
干式真空泵的优点有很多。上海SDE1220干式真空泵
日本KASHIYAMA NEODRY 300E 技术参数以及配置清单
一、 NEODRY 15E技术参数：
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式样 |
NEODRY 300E |
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Max排气速度（L/min） |
5000 |
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达到压力（Pa） |
0.3 |
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电源电压 |
单相AC200-220V |
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外型尺寸WHL [mm] |
304×575×574 |
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吸气口 |
KF50 |
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噪声 |
≤72DB |
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排气口 |
KF25 |
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质量【kg】 |
125kg |
二、NEODRY 300E 配置清单：
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
NEODRY 300E主机一台，电压AC三相200V或者单相200V可选 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
4 |
气振阀（选配） |
|
未包含 |
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5 |
消音器（选配） |
|
未包含 |
|
6 |
入口过滤器（选配，非原厂件） |
|
未包含 |
广州干式真空泵授权代理浚和（上海）仪器有限公司为日本KASHIYAMA干式真空泵中国区授权代理商。
日本KASHIYAMA SDE120TX 技术参数&配置清单
一、 技术参数：
适合于一些比较苛刻的工艺，比如Meteal-Etch、 SA-CVD、Metal-CVD、PE-CVD、LP-CVD、ALD等
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式样 |
SDE120TX |
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ZUI大排气速度（L/min） |
1500 |
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达到压力（Pa） |
1.3 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力（KW） |
6.5KVA |
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吸气口 |
NW50 |
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排气口 |
NW40 |
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外型尺寸WHL [mm] |
280×299×550 |
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质量【kg】 |
151kg |
二、 配置清单：
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
SDE120TX主机一台，电压AC三相200V |
1 |
标配 |
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2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器（原厂件，选配） |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器（选配，非原厂件） |
|
未包含 |
日本KASHIYAMA SDE30N20干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数：
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式样 |
SDE30N20 |
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MAX排气速度（L/min） |
50000 |
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达到压力（Pa） |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V，380-480V |
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消费电力（KW） |
3.3KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
450×950×1000 |
二、 配置清单：
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
SDE30N20主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器（原厂件，选配） |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器（选配，非原厂件） |
|
未包含 |
设备原产地：日本
日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。 干式真空泵的系列有很多种。
干式螺杆真空泵选型
干式螺杆真空泵在其工作压力下，应能排走真空泵设备工艺过程中产生的全部气体量。
每种泵都有一定的工作压力范围，因而，泵的工作点应该选择在这个范围之内，而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。
干式螺杆真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。
选择真空机组：
了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸汽，有无颗粒灰尘、有无腐蚀性等。选择干式螺杆真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
干式螺杆真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响，若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
浚和（上海）仪器有限公司专业致力于干式真空泵批发。东莞MU180X干式真空泵维修
浚和（上海）仪器有限公司主营日本KASHIYAMA干式真空泵。上海SDE1220干式真空泵
日本KASHIYAMA NEODRY 30E 技术参数以及配置清单
一、 NEODRY 30E技术参数：
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式样 |
NEODRY 30E |
|
MAX排气速度（L/min） |
500 |
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达到压力（Pa） |
1 |
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电源电压 |
单相AC200-220V |
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外型尺寸WHL [mm] |
210×250×450 |
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吸气口 |
KF40 |
|
噪声 |
≤60DB |
|
排气口 |
KF25 |
|
质量【kg】 |
25kg |
二、NEODRY30E 配置清单：
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
NEODRY 30E主机一台，电压AC三相200V或者单相200V可选 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
4 |
气振阀（选配） |
|
未包含 |
|
5 |
消音器（选配） |
|
未包含 |
|
6 |
入口过滤器（选配，非原厂件） |
|
未包含 |
上海SDE1220干式真空泵