上海氮化镓轮廓仪
轮廓仪,能描绘工件表面波度与粗糙度,并给出其数值的仪器,采用精密气浮导轨为直线基准。轮廓测试仪是对物体的轮廓、二维尺寸、二维位移进行测试与检验的仪器,作为精密测量仪器在汽车制造和铁路行业的应用十分***。(来自网络)
先进的轮廓仪集成模块
60年世界水平半导体检测技术研发和产业化经验
所有的关键硬件采用美国、德国、日本等
PI ,纳米移动平台及控制
Nikon,干涉物镜
NI,信号控制板和Labview64
控制软件
TMC 隔震平台
世界先进水平的计算机软硬件技术平台
VS2012/64位,.NET/C#/WPF
Intel Xeon 计算机
视场范围:560×750um(10×物镜) 具体视场范围取决于所配物镜及 CCD 相机 。上海氮化镓轮廓仪
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强大的轮廓仪光电一体软件
美国硅谷研发、中英文自由切换
光机电一体化软硬件集成
三维分析处理迅速,结果实时更新
缩放、定位、平移、旋转等三维图像处理
自主设定测量阈值,三维处理自动标注
测量模式可根据需求自由切换
三维图像支持高清打印
菜单式参数设置,一键式操作,人机界面个性直观
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可进行软件在线升级和远程支持服务
10 年硅谷世界500强研发经验(BD Medical
Instrument)
光学测量、软件系统
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芯片轮廓仪样机试用粗糙度仪的功能是测量零件表面的磨加工/精车加工工序的表面加工质量。![上海氮化镓轮廓仪,轮廓仪](http://tyunfile.71360.com/UploadFile/shdymek/637201403180214844/7230687.png)
NanoX-8000轮廓仪的自动化系统主要配置 :
▪ XY比较大行程650*650mm
➢ 支持415*510mm/510*610mm两种尺寸
▪ XY光栅分辨率 0.1um,定位精度 5um,重复精度
1um
▪ XY 平台比较大移动速度:200mm/s
▪ Z 轴聚焦:100mm行程自动聚焦,0.1um移动步进
▪ 隔振系统:集成气浮隔振 + 大理石基石
▪ 配置真空台面
▪ 配置Barcode 扫描板边二维码,可自动识别产品信息
▪ 主设备尺寸:1290(W)x1390(D)x2190(H) mm
如果想要了解更加详细的产品信息,请联系我们岱美仪器技术服务有限公司。
轮廓仪在晶圆的IC封装中的应用:
晶圆的IC制造过程可简单看作是将光罩上的电路图通过UV刻蚀到镀膜和感光层后的硅晶圆上这一过程,其中由于光罩中电路结构尺寸极小,任何微小的黏附异物和下次均会导致制造的晶圆IC表面存在缺 陷,因此必须对光罩和晶圆的表面轮廓进行检测,检测相应的轮廓尺寸。
白光轮廓仪的典型应用:
对各种产品,不见和材料表面的平面度,粗糙度,波温度,面型轮廓,表面缺 陷,磨损情况,腐蚀情况,孔隙间隙,台阶高度,完全变形情况,加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
反射光通过MPD的***减小到聚焦的部分落在CCD相机上。
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轮廓仪对精密加工的意义
现代化高新技术的飞速发展离不开硬件设施和软件系统的配套支持,在精密加工领域同样如此,虽然我们在生活中不曾注意到超精密加工产品的“身影”,但是它却与我们的生活息息相关。例如在光学玻璃、集成电路、汽车零部件、机器人**器件、航空航天材料、****设备等领域,都需要对加工的成品进行检测,从物体表面光滑到粗糙的参数,其中包含了从纳米到微米级别的轮廓、线粗糙度、面粗糙度等二维、三维参数,作为评定该物件是否合格的标准。因此光学轮廓仪应运而生,以下是表面三维轮廓仪对精密加工的作用: 隔振系统:集成气浮隔振 + 大理石基石。芯片轮廓仪样机试用
轮廓仪反映的是零件的宏观轮廓。上海氮化镓轮廓仪
关于三坐标测量轮廓度及粗糙度
三坐标测量机是不能测量粗糙度的,至于测量零件的表面轮廓 ,要视三坐标的测量精度及零件表面轮廓度的要求了,如果你的三坐标测量机精度比较高,但零件轮廓度要求不可,是可以用三坐标来代替的。一般三坐标精度都在2-3um左右,而轮廓仪都在2um以内,还有就是三坐标可以测量大尺寸零件的轮廓,因为它有龙门式三坐标和关节臂三坐标,而轮廓仪主要是用来测量一些小的精密零件轮廓尺寸的,加上粗糙度模块也可以测量粗糙度。 上海氮化镓轮廓仪
岱美仪器技术服务(上海)有限公司主营品牌有EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Herzan,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,发展规模团队不断壮大,该公司贸易型的公司。公司致力于为客户提供安全、质量有保证的良好产品及服务,是一家其他有限责任公司企业。公司始终坚持客户需求优先的原则,致力于提供高质量的半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪。岱美中国自成立以来,一直坚持走正规化、专业化路线,得到了广大客户及社会各界的普遍认可与大力支持。