YAMATO高温无氧烘箱烘箱强度
DTN430C洁净厌氧高温气氛炉 相关参数及规格(YAMATO)
规格：
①内尺寸（宽×深×高mm）：450×450×450
②外形尺寸（宽×深×高mm）：1090×950×1540
③内容积：91L
④棚板层数/层间距：12层/30mm
⑤排气口：40KF法兰
⑥氮气入口：Rc1/2
⑦冷却水入口：Rc3/4
⑧热水出口：Rc3/4，2个
⑨电源（50/60Hz）额定电流：3相AC380V 16A
⑩重量：约900kg
选购品：棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯（待机/ 运行/ 故障）、以太网通信功能
---------------- 俊和（上海）仪器有限公司正规代理YAMATO雅马拓DNN460C厌氧高温气氛炉。YAMATO高温无氧烘箱烘箱强度
高温无氧烘箱箱体结构
1、烘箱由箱体部分、电器控制柜部分、电加热及风道系统部分组装而成，结构合理，外观美观大方；
2、全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘；
3、箱体材料：外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止微尘；
4、内胆材料：1.5厚度 SUS304#不锈钢；
5、 保温材料：硅酸铝棉，保温层厚度100mm；
--------------------------------------------------------------------------------------- 实验室设备高温无氧烘箱固化半导体晶圆高温无氧烘箱由箱体部分、电器控制柜部分、电加热及风道系统部分组装而成，结构合理，外观美观大方。
C1-008 洁净厌氧高温气氛炉（YAMATO）
用途：光刻工艺后段，光刻胶固化。
●MAX工作温度360℃和600℃、洁净度100级、氧浓度20ppm以下。
●程序运转功能，有自动/手动两种操作模式。
●快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。
●配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。
●全不锈钢材质。
●在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。
室温+30～360℃ 规格参数：
温度范围：室温+30～360℃
温度分布精度：±4.0℃（at 360℃）
温度上升时间：60min（室温→360℃）
温度下降时间：90min（360℃→50℃）
氧浓度：20ppm以下
氧浓度下降时间：约45分钟
洁净度：100级
装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等
内尺寸：W600×D600×H600mm
电源：3相 AC380V
室温室温+50～500℃ 规格参数：
温度范围：室温+50～500℃
温度分布精度：±8.0℃（a500℃）
温度上升时间：90min（室温→500℃）
温度下降时间：120min（500℃→50℃）
氧浓度：20ppm以下
氧浓度下降时间：约45分钟
洁净度：100级
装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等
内尺寸：W600×D600×H600mm
电源：3相 AC380V
DTN450C洁净厌氧高温气氛炉相关参数及规格(YAMATO)
1、方式：氮气置换+强制送风循环
2、性能：
①使用温度范围：室温+50～500℃
②温度调节精度：±1.0℃（at500℃）
③温度分布精度：±8.0℃（at500℃）
④MAX温度到达时间：约110分钟
⑤氧浓度：20ppm以下
⑥氧浓度到达时间：≤20分（250L/min氮气）
⑦洁净度：温度恒定时100级
3、构成：
①内装：不锈钢板
②外装：冷轧钢板，表面耐药品性涂装
③断热材：硅酸铝棉
④加热方式：不锈钢加热管
⑤加热功率：主加热器9.5KW
⑥N2预热：1KW
⑦冷却机构：不锈钢冷却水换热器
⑧HEPA过滤器：集尘效率：0.3um粒子99.97%以上
4、控制器：
①温度控制方式：PID控制
②温度控制器：液晶触摸屏+PLC
③运行功能：手动定值运行、自动程序运行
④程序模式：程序运行9个，每个程序可设置9步（可扩展）
⑤附加功能：操作员等级认证
⑥加热器回路控制：SSR驱动
⑦传感器：K型热电偶（温度控制及过升防止器）
5、安全装置：门检测开关、过升防止器、氧浓度异常、N2预热温度过升、水压低检测、N2压力低检测、冷却水流量检测、N2流量检测、风机过载检测、过电流漏电保护开关等 高温无氧烘箱外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止微尘。
气氛炉经工艺试验保养工作
设备于材料试验、合成、烧结等，在日常使用后用户也应注意到设备的保养工作，保养时我们应该定期检查的项目有：
1、使用时不得超过额定功率，炉温不得超过*高使用温度。禁止将潮湿工件装入炉膛内，含有过高水份的被加热工件应预先烘干。
2、保持炉膛清洁，对炉内的金属氧化物，炉渣和杂质等应及时清洁。装卸工件时应谨慎，以防碰坏硅钼棒。
3、硅钼棒碱、碱金属、硅酸及硼化合物在高温下对它能起腐蚀作用，水蒸气对它有强烈的氧化影响，氢及含有大量氢的气体在高温时会分解硅钼棒，使用时必须严加注意、
4、车间须配备1/2管以水源后力达0.2MPa.
5、接通充气口充入CO2及其它保护气体，当气氛炉压力表指示在0.02～0.04MPa时，停止充气。
6、通过调查流量和控制出水口温度在40℃。
7、当炉温升高，应随时注意，压力长，间断打开放气阀门，使炉胆内的压力在0.1MPa以下，这时胆的油烟等杂质可随之排出。
8、实行光亮退火，在升温时打开放气阀，随后充入保护气体，流量由小变大，当炉内压力为正压时，即关闭全部阀门，此工艺应经工艺试验，由熟练工人掌握。 高温炉密封件相对便宜，建议在进行维护时更换，以确保真空完整性。北京高温无氧烘箱注意事项
俊和（上海）仪器有限公司正规代理YAMATO雅马拓DTN450C洁净厌氧高温气氛炉。YAMATO高温无氧烘箱烘箱强度
C1-007厌氧高温气氛炉（YAMATO）
●用途：电子元器件高温处理工艺。
●用途：光刻工艺后段，光刻胶固化。
●MAX工作温度360℃和600℃、氧浓度20ppm以下。
●程序运转功能，有自动/手动两种操作模式。
●快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。
●配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。
●在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异
●常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。
室温+30～360℃ 规格参数：
温度范围室温：+30～360℃
温度分布精度：±4.0℃（at 360℃）
温度上升时间：60min（室温→360℃）
温度下降时间：90min（360℃→50℃）
氧浓度：20ppm以下
氧浓度下降时间：约45分钟
运转功能：定值运转、程序运转
装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等
内尺寸：W600×D600×H600mm
电源：3相 AC380V
室温+50～600℃ 规格参数：
温度范围室温：室温+50～600℃
温度分布精度：±8.0℃（at 600℃）
温度上升时间：90min（室温→600℃）
温度下降时间：120min（600℃→50℃）
氧浓度：20ppm以下
氧浓度下降时间：约45分钟
运转功能：定值运转、程序运转
装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等
内尺寸：W600×D600×H600mm
电源：3相 AC380V
YAMATO高温无氧烘箱烘箱强度
浚和（上海）仪器有限公司是一家供应国内外先进仪器和设备的专业供应商和服务商，致力于为客户提供专业的定制化解决方案。多年来，持续为医药、化工、高校、科研单位、检测院等多个行业提供先进的产品和专业的服务。
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