光刻机隔振台研发生产

时间:2021年07月03日 来源:

把手轻轻地放在桌面上。可能会有一个或多个LED亮起,表示过载。了解在不造成过载的情况下可以施加多少力。如果您现在对桌面施加很大的力,所有过载指示灯都将亮起,隔离指示灯将闪烁几秒钟,表示系统在过载解除(待机模式)之前暂时不再隔离。卸下过载后,隔离灯应再次亮起,系统开始隔离。一些过载LED可能会亮起并持续几秒钟。即使在这个阶段,系统也在隔离,但增益降低。严重过载后,系统可能需要半分钟才能完全隔离,但通常只需要几秒钟。Table Stable Ltd:主动隔振以及高 分辨率,高对比度光谱学的全球***。光刻机隔振台研发生产

光刻机隔振台研发生产,隔振台

所有控制电路都内置在该单元**耗小于2.5W。该设备具有通用输入,可以连接到100至240 VAC的任何交流电源。优化设计以实现对诸如扫描探针显微镜(AFM, STM),干涉仪和其他高 分辨率仪器,从而使这些仪器能够达到**终的性能。事实证明,该表在支持灵敏实验(例如膜片钳,显微注射或用于测量Langmuir-Blodgett膜的液体的槽)方面非常成功。

技术指标:

频率:1.2-300赫兹

负载范围:0-40公斤

尺寸图            300x 300 x 70毫米(长x宽x高)

 11.8x 11.8 x 2.75英寸

 隔离:动态1.2Hz至300Hz,主要在较高频率下为无源

透射率:

高于〜10 Hz的透射率<0.01(-40 dB)

矫正力:垂直±8N,水平±4N

静态合规性:27 µm / N

比较大负载(中心负载):40公斤88.18磅

重量:9.2公斤20.3磅

 



轮廓测量隔振台电子太平防震台应用LFS-3传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度,频率约为0.2Hz。

光刻机隔振台研发生产,隔振台

AVI600-M

AVI 600-M的基本配置包括两个紧凑型单元和一个控制单元,比较大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量,可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI600-S适应用户特定的应用,可以使用不同长度的紧凑型装置。


AVI 600-M的隔离始于1,2 Hz,超过10HZ以上迅速增加至35 db

减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能

AVI 600-M系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性

AVI 600-M的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式


AVI 600-M紧凑型设备不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单,友好的处理概念-从而避免在设备上放置沉重的设备(例如SEM)时进行任何复杂的操作。


技术指标:

频率:  1.2-200 Hz

负载范围:  0-1200公斤

(单件):  600公斤

主动式隔震台工作机理

主动防振台通过电气控制,向传入振动瞬间施加反方向的力,从而消除振动。测振传感器不断监测振动,制动器根据这些信号产生反向力,以保持比较好的隔振状态。主动式防震台专门研究10Hz以下低频范围的防震。

(1)实际测量的振动结果:AVI 主动隔振频率范围在 1.0Hz

到 200Hz之间。完美的隔振系统可控制很大范围的频率。

(2)不同负载下的振动传递率:

AVI 的隔振性能在负载低于 30Hz 以下时是一个重要的参照。高频率范围内,随着隔振负载增加,隔震效果稍有提升。 简单,用户友好的处理概念-避免在安装过程中进行复杂的过程。

光刻机隔振台研发生产,隔振台

AVI-400系列(负载:**多800kg)

型号:AVI-400SLP,AVI-400MLP,AVI-400XLP

系统形状:控制器与防振单元分离型

主动控制范围:被动隔振范围200Hz以上

确认防振状态:使用控制器背面的BNC连接器,外部连接,前面的8个LED指示防振状态

尺寸:190×396×190×720×220×856×

控制器尺寸:241×287×142毫米

承重*800kg

单位重量:约13kg;约19公斤,联络我们

电源电压:95-240VAC,50-60赫兹

耗电量:通常为18W

工作温度范围:5℃〜40℃工作湿度范围10〜90%(5〜30℃)・10〜60%(30〜40℃)

可选零件(1)装载板,石板,铸铁板*另行咨询选装(2)高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询。 励磁箱允许将激励信号施加到TS隔离系统,以便该系统可以在任何方向上用作振动器。AVI隔振台质量怎么样

AVI系列产品在振动加速度上的隔振效果。光刻机隔振台研发生产

TS-300结合了久经考验的技术特点和优雅且用户友好的设计

TS-300的隔离始于0.7 Hz,超过10Hz时迅速增加至40dB

缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多

TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性

TS-300的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式

精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平

遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”


如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。 光刻机隔振台研发生产

信息来源于互联网 本站不为信息真实性负责