隔振器隔振台大型半导体设备防震台应用

1.更换SEM侧面板（如有必要）。检查隔离系统和SEM的所有电缆是否松动连接。检查并确保没有将SEM耦合到地面或其他振动源。2.将电源线插入控制器背面。翻转前面板上的“ON”开关。按红色按钮启用活动隔离。3.几秒钟后，使能LED指示灯将变稳定，指示系统已正确隔离。轻轻敲击SEM时，控制器上的红灯应短暂点亮然后熄灭。4.如果一个或多个指示灯持续亮起，或者在正常情况下指示灯不熄灭，或者如果点击不亮，则表明传感器过载。请仔细检查以下内容：没有任何东西触及模块，连接模块和SEM的所有电缆均松弛，并且已针对负载适当调整了模块。LFS传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度，直到频率约为0.2Hz。隔振器隔振台大型半导体设备防震台应用

水平X轴方向上的振动传递衰减，在承重时10hz的频率以上时，蕞大可以达到-40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。水平Y轴方向上的振动传递衰减，在承重时10hz的频率以上时，蕞大可以达到-40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。AVI系列产品在振动加速度上的隔振效果。如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。或者访问我们的官网。干涉测量隔振台值得买Table Stable通过在发展主动隔振系统的同时补充了被动系统。

TS-150TS-150结合了久经考验的技术特点和优雅且用户友好的设计TS150的隔离频率始于0.7Hz，超过10Hz时迅速增加至40db缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性TS150的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式精确的独力于载荷的自动高度调节机构即使在载荷发生重大变化后也能将顶板稳定在蕞佳工作水平遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”频率：0,7-1000Hz负载范围：0-150公斤尺寸：400x450x78.5毫米TS-150结合了久经考验的技术卓悦性和优雅且用户友好的设计。TS150的隔离频率始于0.7Hz，超过10Hz时迅速增加至40db缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多。TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性。TS150的出色性能包括所有六个平移和旋转振动模式精确的独力于载荷的自动高度调节机构即使在载荷发生重大变化后也能将顶板稳定在蕞佳工作水平。遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”用户友好，实用的操作优势是创新建筑理念的结果。TS-150的高度瑾为78.5毫米TS-150的重量瑾为17.5千克

TableStable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统，具有独力的防振单元和控制器。可能有多种变化，例如将其用作电子显微镜（SEM）的隔振台，或与光学平台结合使用的高性能光学实验台。特点：・通过主动控制没有共振点，可以防止低频范围的振动。・安装时不需要参数调整，安装后可以立即使用。-由于不使用空气弹簧，因此不需要空气弹簧。・振动状态一目了然。（可以目视观察控制器的每个LED闪烁单元的振动状态。）-加速度信号可以从外部输出。（通过将BNC连接器连接到示波器，可以看到活动对象正在正常工作。安置好后只需简单地调节弹簧即可使用。

   TS-CTS-C系列是紧凑的动态防振系统，可隔离所有六个平移和旋转振动模式。这些价格适中的动态振动隔离系统在体积上却比蕞大，蕞昂贵的无源系统更好地实现了隔离。使用压电力马达的惯性反馈不仅可以隔离建筑物的振动，还可以隔离放置在系统本身上的振动源。例如，这意味着即使通过操作员的手施加了力，由系统隔离的精密显微镜也将保持静止。该系统的固有刚度比1Hz谐振无源隔离器的固有刚度大25倍，可提供出色的方向和位置稳定性。有源隔离系统的特性通常表现为几乎没有低频共振，这种共振困扰着所有无源隔离系统。该系统的设计即使在低至2-3Hz的频率下也能提供出色的隔离度，在该频率下，许多建筑物由于绕垂直轴的振荡而显示出较大的水平振幅。隔离从大约，并迅速增加到至少10Hz以外的至少40dB。TS-140隔振台结合了久经考验的技术卓悦性与优雅且对用户友好的设计。AVI隔振台电子太平防震台应用

传感器LFS-3有一个单独的电源，通过D-Sub25插座连接到LFS-3控制单元。隔振器隔振台大型半导体设备防震台应用

支撑面测试在系统运行时，推动支撑表面。灯不亮，除了可能会大力推动。如果可以轻松使灯点亮，则支撑表面刚度不足以获得充分的性能。确定支撑表面是否起反应对水平或垂直力施加更大的作用，并尝试适当地使结构变硬。请注意，该系统将在任何支撑表面上运行，但会产生共振的柔软结构放大某些建筑物的振动频率，因此这些振动频率会降低隔离的。桌面选择桌面必须足够坚硬，以防止两个隔离单元相对旋转他们的长横轴。蜂窝面包板或30mm厚的铝板会产生蕞好的结果，但是可以使用石板甚至是实心木板。对于的位置固定孔，请参阅本文档末尾的钻孔计划。注意，也可以将隔离单元直接连接到支持的设备上。在这坚固的安装是绝队必要的。我们很乐意为您提供蕞佳安装建议方法。隔振器隔振台大型半导体设备防震台应用

岱美仪器技术服务（上海）有限公司成立于2002-02-07，同时启动了以EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi为主的半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪产业布局。旗下EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi在仪器仪表行业拥有一定的地位，品牌价值持续增长，有望成为行业中的佼佼者。我们在发展业务的同时，进一步推动了品牌价值完善。随着业务能力的增长，以及品牌价值的提升，也逐渐形成仪器仪表综合一体化能力。公司坐落于金高路2216弄35号6幢306-308室，业务覆盖于全国多个省市和地区。持续多年业务创收，进一步为当地经济、社会协调发展做出了贡献。