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尤其是符合较小条件的评定基准面的位置是按实际表面的形状确定的，不可能在测量之前预先确定。且测量所得到的原始数据中的较大值与较小值并不一定是实际表面上的比较高点和比较低点，故在数据处理之前，一般应根据所测数据对实际表面的形状特征进行大致分析，初步判断实际表面是凸形、凹形、鞍形或其它复杂形态，以免过多重复计算花费时间，必要时还可画出其数据空间分布示意图，进而确定其评定基准面。数据处理方法有：解析法、坐标变换法和投影作图法等。其中坐标变换法对数据处理带有一般性。间接需求分析与直接需求分析。智能解决方案固定

面片扫描(Patch Scan)

(3)CAD曲面模型方式

该扫描方式只适用于有CAD曲面模型的工件。首先选定“面片扫描”方式，左键点击CAD工作表面；加亮“边界点”对话框中的“1”，左键点击曲面上的扫描起始点；然后加亮“D”，点击曲面定义方向点；点击曲面定义扫描宽度(#2)；点击曲面定义扫描上宽度(#3)；点击“3”，选择“添加”，添加附加点“4”，加亮“4”，点击定义扫描终止点，关闭对话框。定义两个方向的步长及选择所需选项后，点击“创建”。 智能解决方案固定如果解决方案本身有欠缺，那么可能在执行中导致更多的问题，达不到预期的效果。

传感器：愈来愈成为工厂自动化系统中不可或缺的一部分，基于对工业生产现场的深刻理解提供的智能传感器、安全系统以及自动识别系统有效提升了工厂自动化的生产效率和安全性，在确保人员、机器以及系统各方面安全的前提下，实现工厂生产效率的比较大化，使客户的竞争力获得显着的提高。汽车行业是生产工艺要求很高的一个行业，对传感器要求的很严格。能够应用到光幕、电感式开关、光电开关、磁性开关。好的传感器能够保证设备精确、良好的运行。

三坐标测量仪:精密测量模具装备的仪器.

三坐标测量仪三轴均有气源制动开关及微动装置，可实现单轴的精密传动，采用高性能数据采集系统。应用于产品设计、模具装备、齿轮测量、叶片测量机械制造、工装夹具、汽模配件、电子电器等精密测量。

三坐标测量仪是指在一个六面体的空间范围内，能够表现几何形状、长度及圆周分度等测量能力的仪器，又称为三坐标测量机或三坐标量床。三坐标测量仪又可定义“一种具有可作三个方向移动的探测器，可在三个相互垂直的导轨上移动，此探测器以接触或非接触等方式传递讯号，三个轴的位移测量系统（如光栅尺）经数据处理器或计算机等计算出工件的各点（x，y，z）及各项功能测量的仪器”。三坐标测量仪的测量功能应包括尺寸精度、定位精度、几何精度及轮廓精度等。 问题为什么会发生，是否还会再次产生，这种问题是否会导致其它的问题。

7.单支柱移动型(Movingtablecantileverarmtype)

单支柱移动型，轴为主轴在垂直方向移动，支柱整体沿着水平面的导槽在轴上移动，且垂直轴，而轴连接于支柱上。测量台沿着水平面的导槽在轴上移动，且垂直轴和轴。此型测量台面、支柱等具很好的刚性，因此变形少，且各轴的线性刻度尺与测量轴较接近，以符合阿贝定理。

8.单支柱测量台移动型(Singlecolumnxytabletype)

单支柱测量台移动型，轴为主轴在垂直方向移动，支柱上附有轴导槽，支柱被固定在测量仪本体上。测量时，测量台在水平面上沿着轴和轴方向作移动。 设计者和决策者必需清醒认识到解决方案的局限性，优势和劣势以及在变化条件下的不确定性。智能解决方案固定

晶圆测厚仪运用解决方案。智能解决方案固定

3、液平面法：液平面法是用液平面作为测量基准面，液平面由“连通罐”内的液面构成，然后用传感器进行测量。此法主要用于测量大平面的平面度误差。

4、光束平面法：光束平面法是采用准值望远镜和瞄准靶镜进行测量，选择实际表面上相距较远的三个点形成的光束平面作为平面度误差的测量基准面。

5、激光平面度测量仪：激光平面度测量仪用于测量大型平面的平面度误差。

6、利用数据采集仪连接百分表测量平面度误差的方法。测量仪器：偏摆仪、百分表、数据采集仪。测量原理：数据采集仪可从百分表中实时读取数据，并进行平面度误差的计算与分析，平面度误差计算工式已嵌入我们的数据采集仪软件中，完全不需要人工去计算繁琐的数据，可以dada提高测量的准确率。

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