AVI-200XLP隔振台轮廓仪防震台应用

时间:2020年04月03日 来源:

TS-C

TS-C系列是紧凑的动态防振系统,可隔离所有六个平移和旋转振动模式。

这些价格适中的动态振动隔离系统在体积上却比比较大,**昂贵的无源系统更好地实现了隔离。使用压电力马达的惯性反馈不仅可以隔离建筑物的振动,还可以隔离放置在系统本身上的振动源。例如,这意味着即使通过操作员的手施加了力,由系统隔离的精密显微镜也将保持静止。


该系统的固有刚度比1Hz谐振无源隔离器的固有刚度大25倍,可提供出色的方向和位置稳定性。

有源隔离系统的特性通常表现为几乎没有低频共振,这种共振困扰着所有无源隔离系统。


该系统的设计即使在低至2-3

Hz的频率下也能提供出色的隔离度,在该频率下,许多建筑物由于绕垂直轴的振荡而显示出较大的水平振幅。隔离从大约0.7Hz开始,并迅速增加到至少10Hz以外的至少40 dB。 LFS-3性能使用测振仪的H-1档并有50公斤的重量下测试的。AVI-200XLP隔振台轮廓仪防震台应用

AVI-200XLP隔振台轮廓仪防震台应用,隔振台

TS-150安全守则

只能将系统插入具有单独接地的插座。 不要断开此连接通过插座或使用不接地的延长线接地。

在打开本设备之前,请确保已将其连接到正确的电源电压。

请勿卸下任何盖子或让任何金属物体进入设备的任何开口。

请勿拆卸或尝试维修系统。 这可能会导致电击或损坏到系统。

卸下任何主机盖之前,请先断开电源。 请把维修交给合格的人员。

请勿在有危险的环境中使用。

请勿在顶板上钻任何孔。 这会损坏系统。

如果您怀疑系统有任何不安全之处,请拔下电源插头并防止可能发生的意外事 故用法。 请与您**近的服务中心联系。


原装进口隔振台推荐厂家AVI 400-M紧凑型装置不需要任何大型安装工具。

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AVI-400系列(负载:**多800kg)

型号:AVI-400SLP,AVI-400MLP,AVI-400XLP

系统形状:控制器与防振单元分离型

主动控制范围:被动隔振范围200Hz以上

确认防振状态:使用控制器背面的BNC连接器,外部连接,前面的8个LED指示防振状态

尺寸:190×396×190×720×220×856×

控制器尺寸:241×287×142毫米

承重*800kg

单位重量:约13kg;约19公斤,联络我们

电源电压:95-240VAC,50-60赫兹

耗电量:通常为18W

工作温度范围:5℃〜40℃工作湿度范围10〜90%(5〜30℃)・10〜60%(30〜40℃)

可选零件(1)装载板,石板,铸铁板*另行咨询选装(2)高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询。

AVI主动隔振台

AVI主动隔振系统帮助精密仪器在基础研究、应用研究、生产等方面创造稳定的测量和生产环境。AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪、激光干涉计、微检测设备等提供极好的隔振效果。

AVI 产品特点:

· 安置好后只需简单地调节弹簧即可使用。

· 安装好后参数不需要调整。

· 从低频率起提高一个隔振环境。

·控制中心有超载指示灯。


Cu(100)-O表面低温AFM图像

如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。 AVI主动隔振系统帮助精密仪器在基础研究、应用研究、生产等方面创造稳定的测量和生产环境。

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TS-150支撑面测试:

尽管这些系统几乎可以在任何支撑面上运行,但采用软支撑结构共振放大某些建筑物的振动频率,因此这些振动频率会降低隔离的。

您可以通过观察诊断信号来了解支持结构的适用性同时推动支持。 此测试应禁用隔离。 如果支撑是刚性的信号几乎不应响应任何方向对支撑的推动。 现在尝试点击支持激发其内部共鸣。 通常,支架会对水平**产生更强烈的反应而不是垂直的。 一个非常共振的支撑将显示长寿命的共振,并且隔离将

在这些频率上受到严重影响。 更好的支撑将显示出良好的阻尼共振。


隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。SEM隔振台干涉测量应用

LFS传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度,直到频率约为0.2Hz。AVI-200XLP隔振台轮廓仪防震台应用

LFS控制单元上的每个D-Sub15插座都有4个对应于AVI元件的开关输出,这些AVI元件以任意4个矩形方向(即平行或直角)放置,不允许其他方向。

面向LFS传感器的蓝色LED直立。将***个AVI元件连接到后面板上的12个D-Sub15插座中的任何一个。使用笔在位置A和D之间滑动开关。

传感器的位置:

传感器可以移动到任何所需位置。它可能位于负载下方或外部,但必须位于支持AVI元件的同一表面上。连接后,传感器与AVI单元的方向必须保持不变。

支承面刚度:

支承面的刚度很重要。水平传感器无法区分水平加速度和倾斜。因此,LFS和AVI元件所在的支承面必须尽可能坚硬,以便在附近移动时不会明显倾斜。倾斜将导致传感器输出饱和,隔离将失效。 AVI-200XLP隔振台轮廓仪防震台应用

岱美仪器技术服务(上海)有限公司创建于2002-02-07,注册资金 100-200万元,是一家专注磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理(拍卖除外)及其相关配套服务,国际贸易、转口贸易,商务信息咨询服务 的公司。公司目前拥有11~50人员工,为员工提供广阔的发展平台与成长空间,为客户提供高质高效的产品服务,深受员工与客户好评。公司业务范围主要包括:[ "半导体工艺设备", "半导体测量设备", "光刻机 键合机", "膜厚测量仪" ]等。公司奉行顾客至上、质量为首、的经营宗旨,深受客户好评。公司力求给客户提供***质量服务,我们相信诚实正直、开拓进取地为公司发展做正确的事情,将为公司和个人带来共同的利益和进步。经过几年的发展,已成为[ "半导体工艺设备", "半导体测量设备", "光刻机 键合机", "膜厚测量仪" ]行业**企业。

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