光学显微镜隔振台轮廓测量应用

所有控制电路都内置在该单元**耗小于2.5W。该设备具有通用输入，可以连接到100至240 VAC的任何交流电源。优化设计以实现对诸如扫描探针显微镜（AFM， STM），干涉仪和其他高 分辨率仪器，从而使这些仪器能够达到**终的性能。事实证明，该表在支持灵敏实验（例如膜片钳，显微注射或用于测量Langmuir-Blodgett膜的液体的槽）方面非常成功。

技术指标：

频率：1.2-300赫兹

负载范围：0-40公斤

尺寸图            300x 300 x 70毫米（长x宽x高）

 11.8x 11.8 x 2.75英寸

 隔离：动态1.2Hz至300Hz，主要在较高频率下为无源

透射率：

高于〜10 Hz的透射率<0.01（-40 dB）

矫正力：垂直±8N，水平±4N

静态合规性：27 µm / N

比较大负载（中心负载）：40公斤88.18磅

重量：9.2公斤20.3磅

Table Stable通过在发展主动隔振系统的同时补充了被动系统。光学显微镜隔振台轮廓测量应用

TS主动隔振台在3D空间的6个自由度中主动式隔振  从0.7 Hz 到100 Hz

在21世纪纳米技术(即先进的半导体**相关的信息技术,基因疗法等生命科学相关技术,原子或分子处理如MEMS和工程技术等新材料生产), 振动、噪声、电磁领域、热、湿度、干扰等是测量环境的抑 制因素。

在纳米技术中，为了获得可靠的结果，使用充气被动隔振台无法隔离低频振动，此时需要主动隔离。先进的主动式隔振系统“TS 系列” 将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。它将有助于发展目前的技术和测量、创新和发展未知的技术。

装载设备：

扫描电子显微镜，如 AFM3D表面分析仪，激光显微镜，激光干涉仪，液体表面张力测量系统，显微硬度测量仪，

医疗检测设备等 瑞士隔振台服务为先先进的主动式隔振系统“TS 系列” 将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。

地板上没有AVI产品加速度的数据。（图中横坐标为频率，纵坐标为加速度）

加上AVI产品开启隔振功能后，加速度的数据。（图中横坐标为频率，纵坐标为加速度）

Herz

Low Frequency Sensor (LFS-3)低频感应器

LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz. 感应器直接放到地板上和AVI系列产品连在组成一个正向循环可以提高低频的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列产品。

将手轻轻放在桌面上。上方区块中的一个或多个LED可能会亮起，指示过载。了解在不造成过载的情况下可以施加多少力。如果你现在在桌面上施加很大的力，所有过载灯都会亮起，并且隔离指示灯将闪烁几秒钟，表明系统暂时不再隔离，直到过载消除（待机模式）。

消除过载后，隔离灯应再次亮起，系统开始隔离。某些过载LED可能会亮起并持续几秒钟。即使在这个阶段系统正在隔离-但增益降低。严重过载后，系统可能需要半个小时分钟即可达到完全隔离，但通常只需要几秒钟。注意：在正常使用中，隔离开关可能会保持在ON位置（黑色旋钮在里面）。上接通电源后，黄色指示灯将首先闪烁，表明系统处于待机状态模式。大约30秒钟后，指示灯停止闪烁并保持点亮状态，表明系统处于隔离。

使用压电力马达的惯性反馈不仅可以隔离建筑物的振动，还可以隔离放置在系统本身上的振动源。

AVI

400-XL

AVI 400-XL的基本配置包括两个紧凑型隔振模块和一个控制单元，比较大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量，可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI400-M适应用户特定的应用，可以使用不同长度的紧凑型装置。

AVI 400-XL的隔离始于1,2 Hz，超过10HZ以上迅速增加至35 db

减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能

AVI 400-XL系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性

AVI 400-XL的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式

AVI 400-XL紧凑型装置不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单，友好的概念-因此，在装置上放置沉重的设备（例如SEM）时，避免了任何复杂的过程。

技术指标：

频率： 1.2-200 Hz

负载范围： 0-800公斤

（单个）：  400公斤 LFS-3可以被复装到现有的AVI/LP系统中。AVI-600MLP隔振台高性价比选择

传感器LFS-3有一个单独的电源，通过D-Sub25插座连接到LFS-3控制单元。光学显微镜隔振台轮廓测量应用

AVI 200-XL

AVI 200-XL的基本配置包括两个单独的承载模块和一个控制单元，比较大可承载400公斤重量。通过增加隔振模块的数量，可以轻松承受更大的负载。为了使AVI200-M适应用户特定的应用，可以按特殊顺序提供不同长度的单个元件。

AVI 200-XL的隔离始于1,2 Hz，然后迅速增加至超过10Hz的35dB

减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能

AVI 200-XL系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性

AVI 200-XL的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式

AVI 200-XL隔振模块不需要任何大型工具即可安装。我们努力提供一种简单，友好的概念-避免在安装出现中比较复杂的过程。 光学显微镜隔振台轮廓测量应用

岱美仪器技术服务（上海）有限公司成立于2002-02-07，专业磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理（拍卖除外）及其相关配套服务，国际贸易、转口贸易，商务信息咨询服务 等多项业务，主营业务涵盖[ "半导体工艺设备", "半导体测量设备", "光刻机 键合机", "膜厚测量仪" ]。公司目前拥有11~50人员工，为员工提供广阔的发展平台与成长空间，为客户提供高质高效的产品服务，深受员工与客户好评。公司业务范围主要包括：[ "半导体工艺设备", "半导体测量设备", "光刻机 键合机", "膜厚测量仪" ]等。公司奉行顾客至上、质量为首、的经营宗旨，深受客户好评。公司力求给客户提供***质量服务，我们相信诚实正直、开拓进取地为公司发展做正确的事情，将为公司和个人带来共同的利益和进步。经过几年的发展，已成为[ "半导体工艺设备", "半导体测量设备", "光刻机 键合机", "膜厚测量仪" ]行业**企业。