HERZAN隔振台其他高精密仪器

Herz

Low Frequency Sensor (LFS-3)低频感应器

LFS-3性能

LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz. 感应器直接放到地板上和AVI系列产品连在组成一个正向循环可以提高低频的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列产品。

LFS-3性能使用测振仪的H-1档并有50公斤的重量下测试的。

AVI主动隔振系统帮助精密仪器在基础研究、应用研究、生产等方面创造稳定的测量和生产环境。AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪、激光干涉计、微检测设备等提供极好的隔振效果。 Herz授权岱美仪器代理其生产的隔振台含AVI和TS系列。HERZAN隔振台其他高精密仪器

    技术指标：频率负载范围尺寸0,7-1000Hz0-140公斤500x600x84毫米

隔离：动态（超过1kHz）

透射率：参见附件曲线10Hz以上的透射率<（-40dB）

矫正力：垂直+/-8N水平+/-4N

静态合规性：大约垂直约12µm/N水平30-40µm/N

比较大负载：140公斤尺寸：500x600x84毫米

重量：28.5kg

电的安全等级：1个能量消耗：比较大10W负载调整时20W输入电压：115-230VAC+/-10％50-60Hz

超载：显示屏指示负载过重或严重失衡

监控信号：示波器上显示的多路复用信号显示有无隔离的振动水平-*用于诊断目的

前面板显示菜单：显示仪器状态，包括：-高度调节-隔离开/关-过载-运输锁定-技术热线

桌上尺寸：500x600毫米。 AVI-600SLP隔振台现场服务AVI系列可以在非常宽的频率范围内为激光干涉计、微检测设备等提供极好的隔振效果。

主动式隔震台工作机理

主动防振台通过电气控制，向传入振动瞬间施加反方向的力，从而消除振动。测振传感器不断监测振动，制动器根据这些信号产生反向力，以保持比较好的隔振状态。主动式防震台专门研究10Hz以下低频范围的防震。

（1）实际测量的振动结果：AVI 主动隔振频率范围在 1.0Hz

到 200Hz之间。完美的隔振系统可控制很大范围的频率。

（2）不同负载下的振动传递率：

AVI 的隔振性能在负载低于 30Hz 以下时是一个重要的参照。高频率范围内，随着隔振负载增加，隔震效果稍有提升。

***使用AVI系统时，将前面板隔离开关设置为关闭（黑色旋钮熄灭）。打开电源。电源指示灯现在将点亮，16个显示LED将短暂闪烁。黄色启用LED将在约2Hz时闪烁。如果出现剧烈振动或把手放在桌面上，部分或全部LED将闪烁。打开电源约30秒后，您可以将隔离开关推到打开位置（黑色旋钮进入）。黄色LED现在将一直亮起，表示系统正在隔离。

把手轻轻地放在桌面上。可能会有一个或多个LED亮起，表示过载。了解在不造成过载的情况下可以施加多少力。 测振传感器不断监测振动，制动器根据这些信号产生反向力，以保持比较好的隔振状态。

把手轻轻地放在桌面上。可能会有一个或多个LED亮起，表示过载。了解在不造成过载的情况下可以施加多少力。如果您现在对桌面施加很大的力，所有过载指示灯都将亮起，隔离指示灯将闪烁几秒钟，表示系统在过载解除（待机模式）之前暂时不再隔离。卸下过载后，隔离灯应再次亮起，系统开始隔离。一些过载LED可能会亮起并持续几秒钟。即使在这个阶段，系统也在隔离，但增益降低。严重过载后，系统可能需要半分钟才能完全隔离，但通常只需要几秒钟。Herz 防震台/防振台是世界上****的防震台/防振台系统方案供应商之一。AVI-200SLP隔振台大型半导体设备防震台应用

在过去的40年，HERZ发展成为被动式隔振设备的领头供应商 ，并在此领域积累了丰富的经验。HERZAN隔振台其他高精密仪器

Table Stable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统，具有**的防振单元和控制器。

可能有多种变化，例如将其用作电子显微镜（SEM）的隔振台，或与光学平台结合使用的高性能光学实验台。

特点：

・通过主动控制没有共振点，可以防止低频范围的振动。

・安装时不需要参数调整，安装后可以立即使用。-由于不使用空气弹簧，因此不需要空气弹簧。

・振动状态一目了然。

（可以目视观察控制器的每个LED闪烁单元的振动状态。）

-加速度信号可以从外部输出。

（通过将BNC连接器连接到示波器，可以看到活动对象正在正常工作。 HERZAN隔振台其他高精密仪器

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