隔震台隔振台高性价比选择

时间:2020年04月07日 来源:

TS-150安全守则

只能将系统插入具有单独接地的插座。 不要断开此连接通过插座或使用不接地的延长线接地。

在打开本设备之前,请确保已将其连接到正确的电源电压。

请勿卸下任何盖子或让任何金属物体进入设备的任何开口。

请勿拆卸或尝试维修系统。 这可能会导致电击或损坏到系统。

卸下任何主机盖之前,请先断开电源。 请把维修交给合格的人员。

请勿在有危险的环境中使用。

请勿在顶板上钻任何孔。 这会损坏系统。

如果您怀疑系统有任何不安全之处,请拔下电源插头并防止可能发生的意外事 故用法。 请与您**近的服务中心联系。


TS-140结合了久经考验的技术***性与优雅且对用户友好的设计。隔震台隔振台高性价比选择

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·AVI系列振动传递率


横坐标为频率,纵坐标为传递率的数据,在10hz频率以上时,传递率的数据小于0.02,很好地起到了隔振作用。

AVI承载不同重量时不同方向上振动衰减的数据(实验室实验数据)

垂直方向上的振动传递衰减,在承重时10hz的频率以上时,比较大可以达到40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。


干涉测量隔振台值得买传感器LFS-3有一个单独的电源,通过D-Sub25插座连接到LFS-3控制单元。

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AVI-400系列(负载:**多800kg)

型号:AVI-400SLP,AVI-400MLP,AVI-400XLP

系统形状:控制器与防振单元分离型

主动控制范围:被动隔振范围200Hz以上

确认防振状态:使用控制器背面的BNC连接器,外部连接,前面的8个LED指示防振状态

尺寸:190×396×190×720×220×856×

控制器尺寸:241×287×142毫米

承重*800kg

单位重量:约13kg;约19公斤,联络我们

电源电压:95-240VAC,50-60赫兹

耗电量:通常为18W

工作温度范围:5℃〜40℃工作湿度范围10〜90%(5〜30℃)・10〜60%(30〜40℃)

可选零件(1)装载板,石板,铸铁板*另行咨询选装(2)高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询。

支撑面测试

在系统运行时,推动支撑表面。 灯不亮,除了可能会大力推动。 如果可以轻松使灯点亮,则支撑表面刚度不足以获得充分的性能。 确定支撑表面是否起反应对水平或垂直力施加更大的作用,并尝试适当地使结构变硬。请注意,该系统将在任何支撑表面上运行,但会产生共振的柔软结构放大某些建筑物的振动频率,因此这些振动频率会降低隔离的。



桌面选择

桌面必须足够坚硬,以防止两个隔离单元相对旋转他们的长横轴。 蜂窝面包板或30mm厚的铝板会产生比较好的结果,但是可以使用石板甚至是实心木板。 对于的位置固定孔,请参阅本文档末尾的钻孔计划。注意,也可以将隔离单元直接连接到支持的设备上。 在这坚固的安装是***必要的。 我们很乐意为您提供比较好安装建议方法。


安装好后参数不需要调整。

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    技术指标:频率负载范围尺寸0,7-1000Hz0-140公斤500x600x84毫米

隔离:动态(超过1kHz)

透射率:参见附件曲线10Hz以上的透射率<(-40dB)

矫正力:垂直+/-8N水平+/-4N

静态合规性:大约垂直约12µm/N水平30-40µm/N

比较大负载:140公斤尺寸:500x600x84毫米

重量:28.5kg

电的安全等级:1个能量消耗:比较大10W负载调整时20W输入电压:115-230VAC+/-10%50-60Hz

超载:显示屏指示负载过重或严重失衡

监控信号:示波器上显示的多路复用信号显示有无隔离的振动水平-*用于诊断目的

前面板显示菜单:显示仪器状态,包括:-高度调节-隔离开/关-过载-运输锁定-技术热线

桌上尺寸:500x600毫米。 LFS传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度,直到频率约为0.2Hz。除震台隔振台大型半导体设备防震台应用

AVI系列产品在振动加速度上的隔振效果。隔震台隔振台高性价比选择

1、使用2 mm内六角扳手(包括在内)拆下模块端板。

2、根据扫描电镜的重量调整模块。

在每个中心柱上的横梁上方和下方应该有一个间隙,允许每侧大约有2mm的行程。

B、使用M6活动扳手(包括)转动位于支撑弹簧顶部的调整螺母。向右转动扳手可降低模块并增加上部间隙(在**止动螺母和横撑之间)。向左转动扳手可升高模块并减小上部间隙。

C、计算每个螺母的圈数;尽可能均匀地调整所有螺母。并非所有中心柱上的间隙都完全相同。

D、不要转动螺母太远,否则可能损坏系统。在任何情况下,外露螺纹不得超过10mm

3.装回模块上的端板 隔震台隔振台高性价比选择

岱美仪器技术服务(上海)有限公司位于上海市,创立于2002-02-07。公司业务分为[ "半导体工艺设备", "半导体测量设备", "光刻机 键合机", "膜厚测量仪" ]等,目前不断进行创新和服务改进,为客户提供质量的产品和服务。公司秉持诚信为本的经营理念,在仪器仪表深耕多年,以技术为先导,以自主产品为**,发挥人才优势,打造仪器仪表质量品牌。公司自成立以来发展迅速,业务不断发展壮大,年营业额度达到100-200万元,未来我们将不断进行创新和改进,让企业发展再上新高。

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