SEM隔振台时频系统防震台应用
传感器LFS-3有一个单独的电源，通过D-Sub25插座连接到LFS-3控制单元。用D-Sub25电缆将电源连接到传感器。每个单独的AVI元件必须连接到传感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的实际位置并不重要，但它当然必须放置在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上D-Sub 15插座（诊断插座）连接到传感器
设置并将电源连接到传感器后，系统即可使用。
按下电源上的电源旋钮，打开电源。绿色的LED将亮起。红色的发光二极管开始闪烁，这意味着存在一些振动。现在您可以通过按下启用按钮来启用系统。红色的发光二极管不应该再亮了。如果它们亮了，那意味着系统超载，建筑物内的振动太严重。 传感器可以移动到任何所需位置。SEM隔振台时频系统防震台应用
LFS-2传感器测量两个轴的水平加速度，直至频率为约0.2Hz 传感器直接放置在地板上，并用于前馈回路中与标准AVI / LP系统结合使用，可在非常低的情况下提高隔振效果频率。 LFS-2可以改装为现有的AVI-LP系统。下表显示了在AVI / LP上测得的水平隔离度（透射率）有和没有LFS的系统。
将传感器连接到AVI /系统？
传感器LFS-2具有单独的电源，该电源通过D-Sub25插座连接到LFS-2控制单元。 用D-Sub 25将电源连接到传感器电缆。
每个AVI元素必须连接到背面的D-Sub15插座之一传感器的 LFS的实际位置并不重要，但必须放置它在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上部D-Sub 15插座连接到传感器。
主动式隔震台工作机理
主动防振台通过电气控制，向传入振动瞬间施加反方向的力，从而消除振动。测振传感器不断监测振动，制动器根据这些信号产生反向力，以保持比较好的隔振状态。主动式防震台专门研究10Hz以下低频范围的防震。
（1）实际测量的振动结果：AVI 主动隔振频率范围在 1.0Hz
到 200Hz之间。完美的隔振系统可控制很大范围的频率。
（2）不同负载下的振动传递率：
AVI 的隔振性能在负载低于 30Hz 以下时是一个重要的参照。高频率范围内，随着隔振负载增加，隔震效果稍有提升。
水平X轴方向上的振动传递衰减，在承重时10hz的频率以上时，比较大可以达到-40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。
水平Y轴方向上的振动传递衰减，在承重时10hz的频率以上时，比较大可以达到-40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。
AVI系列产品在振动加速度上的隔振效果。
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测振传感器不断监测振动，制动器根据这些信号产生反向力，以保持比较好的隔振状态。
TS-150安全守则
只能将系统插入具有单独接地的插座。 不要断开此连接通过插座或使用不接地的延长线接地。
在打开本设备之前，请确保已将其连接到正确的电源电压。
请勿卸下任何盖子或让任何金属物体进入设备的任何开口。
请勿拆卸或尝试维修系统。 这可能会导致电击或损坏到系统。
卸下任何主机盖之前，请先断开电源。 请把维修交给合格的人员。
请勿在有危险的环境中使用。
请勿在顶板上钻任何孔。 这会损坏系统。
如果您怀疑系统有任何不安全之处，请拔下电源插头并防止可能发生的意外事 故用法。 请与您**近的服务中心联系。
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LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz。SEM隔振台时频系统防震台应用
桌面必须足够坚硬，以防止两个隔离单元绕其长水平轴相对旋转。蜂窝状垫板或30mm厚的铝板效果比较好，但可以使用石板甚至实木板。有关连接孔的位置，将电缆连接至隔离装置的两侧。附加装置通常与***个装置平行放置，但这并非***必要。但是，必须特别注意桌面的正确连接，如下所述。注意，也可以将隔离装置直接连接到所支持的设备上。在这种情况下，刚性安装是***必要的。我们很乐意为您提供比较好安装方法的建议。
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岱美仪器技术服务（上海）有限公司位于上海市，注册资本100-200万元，旗下拥有11~50人***专业的员工。在岱美中国近多年发展历史，公司旗下现有品牌EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Herzan,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB等。公司坚持以客户为中心、磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理（拍卖除外）及其相关配套服务，国际贸易、转口贸易，商务信息咨询服务 市场为导向，重信誉，保质量，想客户之所想，急用户之所急，全力以赴满足客户的一切需要。诚实、守信是对企业的经营要求，也是我们做人的基本准则。公司致力于打造***的[ "半导体工艺设备", "半导体测量设备", "光刻机 键合机", "膜厚测量仪" ]。