吉林射频探针台供应

时间:2021年08月16日 来源:

探针台的使用:1、将样品载入真空卡盘,开启真空阀门控制开关,使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。2、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台,在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。3、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。4、显微镜切换为高倍率物镜,在大倍率下找到待测点,再微调显微镜聚焦和样品,将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢,以防动作过大误伤芯片,当探针针尖悬空于被测点上空时,可先用Y轴旋钮将探针退后少许,再使用Z轴旋钮进行下针,后则使用X轴旋钮左右滑动,观察是否有少许划痕,证明是否已经接触。芯片测试是为了检验规格的一致性而在硅片集成电路上进行的电学参数测量。吉林射频探针台供应

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探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。晶圆测试是芯片制造产业中一个重要组成部分,是主要的芯片良品率统计方法之一。随着晶圆片直径的逐渐增大且密度逐渐提高,晶圆测试的难度和成本也越来越高,也使得芯片需要更长的测试时间以及更加精密复杂的机械装置和计算机系统来执行测试工作和监控测试结果。福建射频探针台供应我们通过探针卡把测试仪和被测芯片连接起来。

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电缆安装探针既可以手动使用,也可以与多轴探针定位器一起使用。与典型的探针台不同,这些探针足够大,操作员可以手动使用,非常可靠。探针定位器的位置精度和可重复性更高,而且本身可以放置,便于进行测试。与探针台不同,同轴电缆安装探针和定位器可以在工程师或技术人员的典型测试台上用作网络分析仪、信号发生器、频谱分析仪、示波器和其他用于射频/微波、毫米波和高速数字应用的配件。电缆安装射频探针的占位面积小、无损坏,并且具有非侵入式设计,可在高密度应用中进行测试,例如天线阵列、超材料、分形天线、微带传输线、紧凑组件以及具有微小表面安装包装组件的印刷电路板。

“精确度”是探测仪器基本的指针,涵盖定位、温度及生产率等三个层面。首先,必须能稳定、精确地探测到小型垫片,载台系统亦须精确、能直接驱动晶圆托盘,并在晶圆移动的过程中准确地将晶圆和晶圆对位;其次,必须具备动态监控机制,确保所挟带的空气以监控温度、掌握可靠度和稳定性;后,必须对高产出的进阶移动做动态控制才能拥有佳的终结果。整体而言,针脚和垫片之间的相应精确度应在±1.5μm之间。随着新工艺的微缩,为了强化更小晶粒定位的精确性,需要动态的Z轴辅助校正工作,以避免无谓的产出损失。尽管随着探针压力的增强,接触电阻逐渐降低,终它会达到两金属的标称接触电阻值。

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射频测试探针必须具有与测试点相匹配的阻抗。通常要做的是在设计中各个预先计划好的测试点焊接射频同轴电缆(尾纤)。这有助于确保足够的阻抗匹配,并且测试点可以选在对整体设计性能产生较小影响的区域。其他方法包括将用的射频探针焊接到自定义焊盘或者引线设计上,从而减少侵入性探测。高性能测试设备供应商可以提供高达毫米波频率的用探针。但这些探针的末端通常都很昂贵,且无法持续访问组成元件的电路。因此,它们在大容量的测试应用或者故障排除应用中受到限制,更适合于原型设计和研发。焊针时,应凭自己的经验,把针尖离压点中心稍微偏一点。浙江测试芯片探针台厂家

探针台的维护与保养就显得尤为重要。吉林射频探针台供应

探针氧化:通常探针是由钨制成的,它如果长期不用,针尖要形起氧化,针尖如果氧化,接触电阻变大,测试时参数测不稳,为了不使它氧化,我们平时必须保护好探针卡,把它放在卡盒里,存放在氮气柜中,防止探针的加快氧化,同时测片子时,用细砂子轻轻打磨针尖并通以氮气,减缓氧化过程。针尖高低不平(若针尖高度差在30UM以上):探针卡使用一段时间后,由于探针加工及使用过程中的微小差异导致所有探针不能在同一平面上会造成。某些针尖位置高的扎不上AL层,使测试时这些针上电路不通。吉林射频探针台供应

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