上海基板抛光液性能

    研磨液供给与输送系统

①研磨液供给与输送系统与CMP工艺之间的关系：研磨液中的化学品在配比混合输送过程中可能有许多变化，这一点，使输送给机台的研磨液质量与抛光工艺的成功形成了非常紧密的关系，其程度超过了与高纯化学品的联系。尽管CMP设备是控制并影响CMP工艺结果的主要因素，但是研磨液在避免缺点和影响CMP的平均抛光速率方面起着巨大的作用。

②研磨液供给与输送系统实现的目标：通过恰当设计和管理研磨液供给与输送系统来保证CMP工艺的一致性。研磨液的混合、过滤、滴定以及系统的清洗等程序会减轻很多与研磨液相关的问题。那么就要设计一个合适的研磨液的供给与输送系统，完成研磨液的管理，控制研磨液的混合、过滤、浓度、滴定及系统的清洗，减少研磨液在供给、输送过程中可能出现的问题和缺点，保证CMP的平坦化效果。

③抛光研磨液后处理：作为消耗品，研磨液一般是一次性使用。随着CMP市场的扩大，抛光研磨液的排放及后处理工作量也在增大(出于环保原因，即使研磨液不再重复利用，也必须先处理才可以排放)。而且，抛光研磨液价格昂贵，如何对抛光研磨液进行后处理，补充必要的化学添加剂，重复利用其中的有效成分，或降级使用，不仅可以减少环境污染。 本公司销售的纳米抛光液应用范围：气相沉积材料、荧光材料、特种玻璃、复合材料和树脂材料。上海基板抛光液性能

硫系化合物相变材料化学机械抛光的纳米抛光液及其应用:一种用于硫系化合物相变薄膜材料GexSbyTe(1-x-y)化学机械抛光(CMP)的纳米抛光液及该化学机械抛光液在制备纳电子器件相变存储器中的应用。该CMP纳米抛光液包含有氧化剂、螯合剂、pH调节剂、纳米研磨料、抗蚀剂、表面活性剂及溶剂等。该抛光液损伤少、易清洗、不腐蚀设备、不污染环境,主要用于制造相变存储器关键材料GexSbyTe(1-x-y)的CMP。利用上述抛光液采用化学机械抛光方法去除多余的相变薄膜材料GexSbyTe(1-x-y)制备纳电子器件相变存储器,方法简单易行。河南抛光液品牌本公司销售的氧化铝抛光液颗粒粒径分布适中，很大程度提升抛光速率的同时降低微划伤的概率。

精抛液  

本产品特性：   

 1.加工质量高. 速度快,效果明显，被加工后的零件表面光亮照人, 可解决人工抛光不能解决的问题。并且给您的下道工序提供了较好的基础面。    

2.经本抛光剂、液加工后的五金件，可有效的去除毛刺,并可使倒角处更加光滑, 提高精度等效果。同时使各种普通配件外表更加美观光滑，使用寿命及产品附加值明显提高.   

3.本品具有多功能化的优点,可除锈,除油,去除氧化物，防锈,清洗,和抛光等多种功能同时完成,可大幅度简化操作工序,直接降低生产成本.    

4.本抛光剂、液既适用于震动(研磨)光饰机,滚动(研磨)光饰机和涡流式(研磨)光饰机,同时也可在离心(研磨)光饰机等其它(研磨)光饰机中使用.    

5.本产品环保无污染，不会对人体及环境造成危害，使用安全方便。   

应用: 适用于精光工件表面，作业后工件表面可达超精光效果。   

适用范围：    轴承,五金工具,建筑五金,日用五金,汽车,摩托车,电动车,自行车,纺织配件,金属工艺品,金属纽扣,齿轮,电动工具,冲压件,标准件,液压气动元件,硬质合金,气门,阀门,偶件,微型机械,医疗器械,照相机,餐具,刃具,微电机,手表,钟表,管乐器材,仪表仪器,镜框,塑料制品和金银首饰等行业

纳米氧化铈水分散液（纳米氧化铈抛光液）  

关键词：纳米氧化铈抛光液  氧化铈抛光液  研磨液电解抛光液 蓝宝石抛光液 不锈钢抛光液、金属抛光液、瓷砖抛光液该纳米氧化铈抛光液分散性好，质量稳定，久置不分层不沉淀，可极大提高抛光效率和精度，生产流程不会引入金属离子。   

产品说明：      本品外观为白色液体，氧化铈纳米粒子平均粒径为20nm，氧化铈含量不低于30%，分散介质为去离子水，pH在9-10，0.5%-1%的悬浮稳定剂。生产流程不引入金属离子。   产品应用：      

1）精密仪器抛光      本品不含碱金属离子，粒径小，粘度很低，为晶体硅、LED、高精密玻璃等器件的抛光需求而研发生产。不含有害成分，除氧化铈外，悬浮剂为环保成分不会对环境和人体带来间接危害。      

2）防紫外线      添加于特种涂料、遮阳伞、玻璃等便可制得防紫外线的特种产品，用于塑料中更是可以起到防老化的效果。     

 3）隔热功能      由于纳米氧化铈有***的隔热性能，本品亦是隔热涂料中不可或缺的成分。      

4）催化剂      在催化剂中加入本品可明显减少贵金属用量并改善催化性能，使催化器的价格大幅下降。氧化铈还能与纳米氧化钛制成光催化剂，用于***陶瓷和富氧离子环保涂料等。 本公司销售的纳米抛光液应用范围：涂料、橡胶、塑料耐磨增强材料、高级耐水材料。

1. LED行业  目前LED芯片主要采用的衬底材料是蓝宝石，在加工过程中需要对其进行减薄和抛光。蓝宝石的硬度极高，普通磨料难以对其进行加工。在用金刚石研磨液对蓝宝石衬底表面进行减薄和粗磨后，表面不可避免的有一些或大或小的划痕。CMP抛光液利用“软磨硬”的原理很好的实现了蓝宝石表面的精密抛光。随着LED行业的快速发展，聚晶金刚石研磨液及二氧化硅溶胶抛光液的需求也与日俱增。 

2.半导体行业  CMP技术还***的应用于集成电路(IC)和超大规模集成电路中(ULSI)对基体材料硅晶片的抛光。随着半导体工业的急速发展，对抛光技术提出了新的要求，传统的抛光技术（如：基于淀积技术的选择淀积、溅射等）虽然也可以提供“光滑”的表面，但却都是局部平面化技术，不能做到全局平面化，而化学机械抛光技术解决了这个问题，它是目前***的可以在整个硅圆晶片上***平坦化的工艺技术。 本公司的纳米抛光液适合各种宝石研磨抛光、电子磁性材料的研磨抛光。重庆硅抛光液价格查询

本公司销售的氧化硅抛光液分散性好、不结晶 。上海基板抛光液性能

蓝宝石抛光液  

蓝宝石抛光液是以高纯度硅粉为原料，经特殊工艺生产的一种高纯度低金属离子型抛光产品。   蓝宝石抛光液主要用于蓝宝石衬底的抛光。还可***用于多种材料纳米级的高平坦化抛光，如：硅片、化合物晶体、精密光学器件、宝石等的抛光加工。     

蓝宝石抛光液的特点：   

1.高抛光速率，利用大粒径的胶体二氧化硅粒子达到高速抛光的目的。  

2.高纯度（Cu含量小于50 ppb），有效减小对电子类产品的沾污。  

3.高平坦度加工，蓝宝石抛光液是利用SiO2的胶体粒子进行抛光，不会对加工件造成物理损伤，达到高平坦化加工。   蓝宝石抛光液根据pH值的不同可分为酸性抛光液和碱性抛光液。 上海基板抛光液性能

苏州豪麦瑞材料科技有限公司总部位于苏州市工业园区唯华路3号君地商务广场5栋602室，是一家苏州豪麦瑞材料科技有限公司（Homray Material Company）成立于2014年，是由一群在半导体行业从业多年的专业团队所组成，专注于半导体技术和资源的发展与整合，现以进口碳化硅晶圆，供应切割、研磨及抛光等相关制程的材料与加工设备，氧化铝研磨球，氧化锆研磨球，陶瓷研磨球，陶瓷精加工，抛光液。的公司。豪麦瑞材料科技深耕行业多年，始终以客户的需求为向导，为客户提供***的陶瓷研磨球，碳化硅，陶瓷精加工，抛光液。豪麦瑞材料科技不断开拓创新，追求出色，以技术为先导，以产品为平台，以应用为重点，以服务为保证，不断为客户创造更高价值，提供更优服务。豪麦瑞材料科技始终关注自身，在风云变化的时代，对自身的建设毫不懈怠，高度的专注与执着使豪麦瑞材料科技在行业的从容而自信。