舟山高纯特气管道安装规范

大宗特气供气系统，大规模供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大规模集成电路厂（气体种类包括SiH 4 、N 2 O、 2 、 C 2 F 6 、 NH 3 等），100MW以上的太阳能电池生产线（气体种类包括NH3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括NH3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括SIH4、CL2、NH3、NF 3 ）等、光纤（气体种类包括SiCl 4 ）、硅材料外延生产线（气体种类包括HCL）等行业。它们的投资规模巨大，采用先进的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出较严格的要求。管道连接过程中按图纸要求设伸缩节，设计无要求时，按照规范要求设置，管端伸入伸缩节应预留伸缩间隙。舟山高纯特气管道安装规范

大宗特气供气系统，大规模供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大规模集成电路厂（气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太阳能电池生产线（气体种类包括NH3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括NH3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括SIH4、CL2、NH3、NF3）等、光纤（气体种类包括SiCl4）、硅材料外延生产线（气体种类包括HCL）等行业。它们的投资规模巨大，采用先进的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出较严格的要求。常州色谱仪特气管道安装注意事项对管道进行吹扫和清洗，以去除残留的杂质和污染物，确保管道的干净和卫生。

双层管特种气体管道施工除应符合本标准第 10.6.1条~第 10.6.3条的规定外，还应符合下列规定：1当双层管焊接施工时，应先实施内管的焊接，并在焊接接头处应安装滑套；2 当双层管焊接外管及滑套时，内管和外管都应充高纯氩气保护，宜采用自动轨道氩弧焊机焊接；3 内管焊接完成后应先做压力试验和氦检漏，确认内管无泄漏后，方可焊接外管上的滑套；4 双层管的内管和外管之间应安装弹簧进行隔离，内管和外管不得直接接触；5双套管施工宜采用分段隔绝的方式施工，从气瓶柜到阀门箱的外层套管不得全部相通。

特气管道安装：（1）根据图纸所示位置放线定位并弹线开孔（注意预留检修口）；将管子吊装至预定的安装位置后固定牢靠，并用垫板垫好管件防止滑动伤人。（一般采用膨胀螺栓固定）然后连接支吊架使管子与支吊架牢固连接起来；（一般采用焊接固定）。（2）用水平尺测量管子轴线与地面垂直度误差≤0.5mm/m2，如有偏差及时调整直至合格为止；（一般用钢卷尺检测）如遇特殊环境可用经纬仪或全站仪等测量仪器检测。（一般用全站仪检测）。同时应做好记录以便返工处理。（一般采用经纬仪检测。）在双层管道弯管时，于内外管间套不锈钢弹簧圈，作为内外管传力物，确保弯管过程中内外管的真圆度。

特气管道安装流程:1、管道连接时，不得强力对口。2、管口对接应检查平直度，距接口200mm处测量，允许偏差1mm/m，全长偏差小于10mm，法兰间连接要平行。3、采用螺纹接头应用四氟乙烯带填料，禁止用麻油。4、管道与支架中间应采用无氯离子塑片相隔离;穿墙管道应加套管，套管长度不应小于墙厚，中间空隙应用不燃材料填塞。5、氮气管道应有防雷及导除静电的接地装置。6、埋地管道深度不小于0.7m(管顶距地面)，直接埋地应作防腐处理。人体工程学:集中管道供应系统可以将气体出口放置在使用点处，这样的话可以更合理的设计工作场所。自动焊接施工 半成品和成品的保护措施应及时有效，加工完成或焊接完成后及时将管子两端密封。镇江大口径特气管道安装行价

按照设计方案进行管道的切割、焊接、连接等操作，确保管道的密封性和牢固性。舟山高纯特气管道安装规范

设备材料进场验收、焊接样品鉴定时，建设单位技术人员应在场检验确认。主要设备、材料进场验收，气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘进场验收应符合下列规定：1 外包装上应具有防止倾倒、轻放、防雨标识、防震标识，并应完整无损；2 表面应平整光洁、色泽一致、无毛刺、无划痕、无锈蚀、不起鼓；柜体顶部应设抽风口，柜门下方应设可调节空气过滤网进风口；3 面板上应有气体的名称、化学式、浓度、化学性质和危险标志的标识，并应有管线、阀体及附件相互连接的系统图；同时，应配有与其对应的操作手册；4 内部引出的管路和阀件接口应用专门使用管帽和堵头封堵；5 在运输过程中盘面内应保有不低于0.1MPa(表压)压力的氮气；6 阀门、仪表与面板之间应有专门使用阀门支撑件，支撑件材质应采用不锈钢；不得将阀门、仪表等直接用螺栓固定在面板上。舟山高纯特气管道安装规范