安徽液氖气
因此对空气分离单元10中其它产品构成物的分离和回收的影响小。在许多方面，图8的实施方案与图7所示的实施方案相当相似，对应的元件和物流具有对应的附图标号，但在图8中以600序列标号，在图7中以500系列标号。例如，图7中由附图标号522、525、544、545、546、548、549和550**的项目分别与图8中由附图标记号622、625、644、645、646、648、649和650**的项目相同或相似。图7的实施方案与图8的实施方案之间的主要差异在于来自空气分离单元的氮气过冷器的釜沸腾流被来自空气分离单元10的氩冷凝器78的釜沸腾流622替代。此外。由双级回流冷凝器-再沸器620产生的沸腾流625被引导至相分离器670，所得蒸气流671和液体流672被返回到空气分离单元10的低压塔74的中间位置。实施例对于本发明的回收氖气的系统和方法的各种实施方案，使用各种空气分离单元操作模型来进行多个工艺模拟以表征：(i)氖气和其他稀有气体的回收；(ii)粗氖蒸气流的组成；以及(iii)来自蒸馏塔体系的氮的净损失；当使用上述和相关附图中所示的氖气回收系统和方法来操作空气分离单元时。表1示出了针对参考图2描述的氖气回收系统和相关联方法的基于计算机的工艺模拟的结果。如表1所示。因为氖是惰性的，不需要特别的制作材 料。安徽液氖气
光刻光源制造商Gigaphoton,Inc.宣布推出“氖气救援计划”。该综合性方案包括以下三项措施：为新的气体供应商提供快速资质认证；限时使用Gigaphoton的eTGM技术以减少氖气使用；加速推出公司的气体回收技术hTGM。“氖气救援计划”由Gigaphoton制定，用于立即帮助客户应对氖气供应和成本方面日益严峻的挑战，这对维持稳定的高产环境至关重要。氖气是激光器中氩气(Ar)和氪气(Kr)的缓冲气体，用于半导体的制造。目前乌克兰是氖气的主要生产国，但由于国内危机持续不断，氖气供应减少已成为一个突出问题且正在引起人们的普遍担忧。担忧的原因不仅在于氖气价格上涨，也包括2015年开始的供应短缺问题。对于作为全球氖气主要消费者的半导体行业而言，这是一个严峻的局面。为应对这次危机，Gigaphoton早在2011年11月便宣布为所有新的和现有的GT系列ArF浸没式激光器提供eTGM技术的限时使用。“氖气救援计划”在此基础上提供了比较好的方案，内容包括：为客户要求的新气体供应商提供快速的资质认证方案。以前，新气体供应商需要六至十二个月才能完成测试和资质认证。但现在根据新方案，客户比快只需一个月时间便可使用新的气体供应商。安徽液氖气用工业气体氖做介质制成的封闭循环式微型制冷机。
主要是氟化物)被分离，从塔底排除。纯氪气(国标％以上纯度)从塔顶排出，送给下一步(充装或管道输送)工序。从二级精馏塔5底部出来的粗氙气，首**入粗氙塔7(操作压力为～，操作温度-100℃左右)以去除高沸点组分(碳氢化合物及部分氟化物等)，从粗氙塔7(操作压力为～，操作温度-100℃左右)的顶部得到较纯氙气，进入纯氙塔8(操作压力为～，操作温度-100℃左右)。低沸点组分在纯氙塔8中再一次被去除，纯氙气(国标％以上纯度)从塔底部抽出，送给下一步(充装或管道输送)工序。其中，使一级精馏塔4和二级精馏塔5工作，塔底上升的气体和塔顶下降的液体是精馏塔正常工作所必需的条件。氪氙精制设备流量一般小，上升气体通常有塔底的电加热器加热液体得到；下降液体由每个精馏塔塔顶的气体通过各自冷凝蒸发器冷凝得到。以上所述*为本发明较佳的实施例，并非因此限制本发明的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本发明说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本发明的保护范围内。
然后将来自热涡轮膨胀机的经膨胀气流或排气流引导至双塔或多塔低温空气蒸馏塔系统中的低压塔。因此直接向低压塔赋予由该排气流的膨胀所形成的冷却或补充制冷，从而减轻主换热器的一些冷却负荷。在包括高压塔72和低压塔74的蒸馏塔系统70内分离进料空气流的上述组分(即，氧气、氮气和氩气)。应当理解，如果氩气是来自空气分离单元10的必要产物。则氩塔76和氩冷凝器78可结合到蒸馏塔系统70中。高压塔72通常在约20巴(a)至约60巴(a)之间的范围内操作，而低压塔74在约(a)至约(a)之间的压力下操作。高压塔72和低压塔74以热传递关系相连，使得从接近高压塔的顶部提取为物流73的富氮蒸气塔顶馏出物在位于低压塔74的基部的冷凝器-再沸器75中因富氧液体塔底馏出物77沸腾而冷凝。富氧液体塔底馏出物77的沸腾引发低压塔内上升汽相的形成。该冷凝产生含液氮流81，该含液氮流被分成回流流83和液氮源流80，该回流流回流低压塔以引发低压塔内下降液相的形成，该液氮源流被进料至氖气回收系统100。来自涡轮空气致冷回路60的排气流64与物流46和47一起被引入到高压塔72中，用于通过在多个传质接触元件(示出为塔盘71)内使此类混合物的上升汽相与由回流流83引发的下降液相接触来进行精馏。对液氖可使用奥氏体不锈钢。
以液氮与氮气混合后得到的低温气体为冷源的***冷凝蒸发器；和分别位于二级精馏塔塔内、纯氪塔塔内、粗氙塔塔内、纯氙塔塔内，以不同比例低温氮气与常温氮气混合后得到的较低温气体为冷源的第二冷凝蒸发器、第三冷凝蒸发器、第四冷凝蒸发器、第五冷凝蒸发器；以及用于汇总从各冷凝蒸发器出来的氮气并复热的主换热器；其中，所述一级精馏塔与所述二级精馏塔连接；所述二级精馏塔分别与所述纯氪塔和所述粗氙塔连接；所述粗氙塔与所述纯氙塔连接；所述分馏塔与所述主换热器连接。推荐地，还包括：用于接受复热后的氮气并增压的循环压缩机；其中，所述循环压缩机分别与所述分馏塔和所述主换热器连接。本发明采用以上技术方案，与现有技术相比，具有如下技术效果：本发明的氪氙精制中降低液氮使用量的装置，包括循环压缩机、分馏塔、主换热器、一级精馏塔、二级精馏塔、纯氪塔、粗氙塔、纯氙塔、***冷凝蒸发器、第二冷凝蒸发器、第三冷凝蒸发器、第四冷凝蒸发器、第五冷凝蒸发器。其中主换热器中部会抽出较高温氮气作为调温的热流，回收了液氮的冷量，实现氪氙精制的液氮消耗量大幅度降低。附图说明图1是本发明的氪氙精制中降低液氮使用量的装置的示意图；其中。一种气体元素，无色无臭，不易与其他元素化合。可用来制霓虹灯和指示灯。湖南液氖多少立方
只在一些仪表、电光源、低温研究以及配制深海潜水呼吸气等领域应用工业气体。安徽液氖气
空气分离单元在高压塔的状态下操作。大致高压塔转移到氖气回收系统，而大致。除了直接从氖气回收系统中取出的任何液氮产物之外，氖气回收系统能够以至低压塔的经过冷液氮的形式将约％的经转移物流返回到蒸馏塔系统(即，来自不可冷凝物汽提塔的)。回收氖气和其他稀有气体包括回收约％的氖气。通过将粗氖流的流量()乘以粗氖流中的氖气含量(％)并将该数字()除以主空气流(*％)和进入蒸馏塔系统的液体空气流(*％)中包含的氖气，计算出氖气回收率。如表1所示，粗氖蒸气流的组成包括％的氖气和％的氦气。表1。图2的氖气回收系统和相关联方法的工艺模拟)表2示出了针对参考图4描述的氖气回收系统和相关联方法的基于计算机的工艺模拟的结果。如表2所示，空气分离单元在高压塔的状态下操作。约高压塔转移到氖气回收系统，而大致。除了直接从氖气回收系统中取出的任何液氮产物之外，氖气回收系统能够以至低压塔的经过冷液氮的形式将超过99％的经转移物流返回到蒸馏塔系统(即，来自不可冷凝物汽提塔的)。回收氖气和其他稀有气体包括回收约％的氖气，而粗氖蒸气流的组成包括％的氖气和％的氦气。表2。安徽液氖气