浦东新区一体化HTOL测试机

时间:2024年03月15日 来源:

    那么IC在使用期的寿命测试中的HTOL是什么呢?使用期的寿命测试又包含高温工作寿命(HTOL)和低温工作寿命(LTOL),对于亚微米级尺寸的器件,热载流子效应对于器件寿命有着***的影响,低温工作时相对比较苛刻,所以像存储器、处理器等纳米级别工艺的产品通常需要进行低温工作寿命测试。而对于。进行HTOL(HighTemperatureOperationLife)测试的目的就是为了确定长时间的电气偏差和温度对器件的影响,评估器件在超热和超电压情况下一段时间的耐久力,也就是在正常工作的寿命期间潜在的固有故障被加速,这样就可以在相对比较短的时间内模拟出产品的正常使用寿命。HTOL是在产品放行和批量生产前进行评估,对应浴缸曲线曲线的UsefulLife期,通常是抽样进行的。此外,HTOL还可以用于可靠性监控以及对存在潜在缺陷的产品进行风险评估。 上海顶策科技TH801智能老化系统,拥有智能动态在线实时检测技术,同时一体化结合ATE与高温老化炉。浦东新区一体化HTOL测试机

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包括:将所述源极101和漏极102均悬空,在所述控制栅106上施加***擦除电压vc1,在所述衬底100上施加第二擦除电压vc2;其中,所述***擦除电压vc1为负电压,所述第二擦除电压vc2为正电压。所述***擦除电压vc1的范围为-10v~-8v,本实施例中例如为-9v;所述第二擦除电压vc2的范围为8v~10v,本实施例中例如为9v;擦除过程中的脉冲宽度为10ms~20ms。本实施例中,闪存参考单元的擦除原理是基于fowler-nordheim隧穿(简称为fn隧穿),通过在衬底100上施加正电压,在控制栅106上施加负电压,以在隧穿氧化层103中注入空穴,同时减少浮栅104中的电子。

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